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1. (WO2004008611) モータ、ロボット、基板ローダ及び露光装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2004/008611    国際出願番号:    PCT/JP2003/008308
国際公開日: 22.01.2004 国際出願日: 30.06.2003
予備審査請求日:    09.12.2003    
IPC:
B25J 9/12 (2006.01), G01N 35/04 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01), H02K 7/04 (2006.01), H02K 7/116 (2006.01), H02K 7/14 (2006.01), H02K 16/02 (2006.01), H02K 26/00 (2006.01)
出願人: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 2-3, Marunouchi 3-Chome, Chiyoda-ku, Tokyo 100-8331 (JP) (米国を除く全ての指定国).
TANAKA, Keiichi [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: TANAKA, Keiichi; (JP)
代理人: WATANABE, Atsushi; PATENT ATTORNEYS "SHINPO", 1-20-10-203, Takadanobaba, Shinjuku-ku, Tokyo 169-0075 (JP)
優先権情報:
2002-200843 10.07.2002 JP
2002-230916 08.08.2002 JP
発明の名称: (EN) MOTOR, ROBOT, SUBSTRATE LOADER AND EXPOSURE SYSTEM
(FR) MOTEUR, ROBOT, CHARGEUR DE SUBSTRATS ET SYSTEME D'EXPOSITION
(JA) モータ、ロボット、基板ローダ及び露光装置
要約: front page image
(EN)The motor unit (10) of an exposure system comprises a motor (45) for rotary-driving a drive shaft (23), and a motor (33) for rotary-driving a drive shaft (21). Stators (45b, 33b) of respective motors are coupled with the cancel stator (59b) of a reaction cancel and magnetism cancel motor (59) through an inner core (29) and an outer core (31). A CW sleeve (51) is secured to a cancel rotor (59a) facing the cancel stator (59b). The CW sleeve (51) is rotated in the direction reverse to that of the drive shaft by driving the cancel motor (59) in order to cancel a reaction being applied to the stators (45b, 33b) as the drive shaft is driven, thus canceling magnetism being generated by the rotors (45a, 33a) and the stators (45b, 33b).
(FR)L'invention concerne un système d'exposition équipé d'un bloc moteur (10) comprenant un moteur (45) entraînant un premier arbre (23) de transmission en rotation, et un moteur (30) entraînant un second arbre (21) en rotation. Les stators (45b, 33b) des moteurs respectifs sont couplés au stator (59b) d'annulation d'un moteur (59) d'annulation de réaction et de magnétisme par l'intermédiaire d'un noyau (29) interne et d'un noyau (31) externe. Un manchon (51) CW est entraîné en rotation dans un sens inverse à celui de l'arbre d'entraînement par le moteur (56) d'annulation, afin d'annuler la réaction appliquée aux stators (45b, 33b) lors de l'entraînement de l'arbre, et à annuler ainsi le magnétisme généré par les rotors (45a, 33a) et les stators (45b, 33b).
(JA)露光装置のモータユニット10は、駆動軸23を回転駆動するモータ45と、駆動軸21を回転駆動するモータ33を備える。各モータの固定子45b、33bは内コア29及び外コア31を介して、反力キャンセル及び磁気キャンセル用モータ59のキャンセル固定子59bに連結している。キャンセル固定子59bと対向するキャンセル回転子59aにはCWスリーブ51が固定されている。キャンセルモータ59を駆動してCWスリーブ51を駆動軸と反対方向に回転させて、駆動軸の駆動に伴って固定子45b、33bにかかる反力をキャンセルするとともに、回転子45a、33a及び固定子45b、33bの発生させる磁気をキャンセルする。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NI, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)