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1. (WO2004007797) 成膜装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2004/007797    国際出願番号:    PCT/JP2003/008800
国際公開日: 22.01.2004 国際出願日: 10.07.2003
予備審査請求日:    14.11.2003    
IPC:
C23C 16/16 (2006.01), C23C 16/44 (2006.01)
出願人: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-6, Akasaka 5-Chome, Minato-Ku, Tokyo 107-8481 (JP) (米国を除く全ての指定国).
YAMASAKI, Hideaki [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
KAWANO, Yumiko [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
YAMAMOTO, Norihiko [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: YAMASAKI, Hideaki; (JP).
KAWANO, Yumiko; (JP).
YAMAMOTO, Norihiko; (JP)
代理人: ITOH, Tadahiko; 32nd Floor, Yebisu Garden Place Tower, 20-3, Ebisu 4-chome, Shibuya-ku, Tokyo 150-6032 (JP)
優先権情報:
2002-201533 10.07.2002 JP
発明の名称: (EN) FILM FORMING APPARATUS
(FR) APPAREIL DE FORMATION DE FILM
(JA) 成膜装置
要約: front page image
(EN)A film forming apparatus (100) is characterized in that the apparatus comprises a raw material container (10) for receiving a raw material from which source gas is produced, a film forming chamber (120) for applying a film forming process on a semiconductor substrate (101), a raw material supply passage (30) for supplying the source gas from the raw material container (10) to the film forming chamber (120), an exhaust gas flow passage (32) for exhausting gas from the film forming chamber (120), having a vacuum pump system structured by a turbo-molecular pump (14) and a dry pump (16), and a pre-flow passage (33) branching off from the raw material supply passage (30) while bypassing the film forming chamber (120) and the turbo molecular pump (14), and joining to the exhaust gas flow passage (32), and in that the raw material supply passage (30) includes piping having an inner diameter larger than 6.4 mm, and a turbo-molecular pump (15) is provided in the pre-flow passage (33).
(FR)L'invention concerne un appareil (100) de formation de film caractérisé en ce qu'il comprend un récipient (10) de matières premières destiné à recevoir des matières premières à partir desquelles un gaz source est produit, une chambre (120) de formation de film permettant d'appliquer un processus de formation de film sur un substrat semi-conducteur (101), un passage d'alimentation (30) de matières premières permettant de fournir le gaz source provenant du récipient (10) de matières premières à la chambre (120) de formation de film, un passage d'écoulement (32) de gaz d'échappement permettant d'évacuer un gaz de la chambre (120) de formation de film comprenant un système de pompe à vide structuré par une pompe turbo-moléculaire (14) et une pompe désamorcée (16), et un passage de pré-écoulement dérivé du passage d'alimentation (30) de matières premières tout en dérivant la chambre (120) de formation de film et la pompe turbo-moléculaire (14) et en les reliant au passage d'écoulement (32) de gaz d'échappement. Ledit appareil est également caractérisé en ce que le passage d'alimentation (30) de matières premières comprend une tuyauterie dont le diamètre intérieur est supérieur à 6,4 mm, une pompe turbo-moléculaire (15) étant disposée dans le passage de pré-écoulement (33).
(JA)本発明の成膜装置100は、ソースガスを生成するための原料を入れる原料容器10と、半導体基板101に成膜処理を行うための成膜室120と、原料容器10から成膜室120に上記ソースガスを供給するための原料供給路30と、ターボ分子ポンプ14及びドライポンプ16からなる真空ポンプシステムを有した、成膜室120を排気するため排気流路32と、原料供給路30から分岐し成膜室120及びターボ分子ポンプ14をバイパスして排気流路32に合流するプリフロー流路33とを備え、原料供給路30は、6.4mmより大きい内径の配管を含み、プリフロー流路33にターボ分子ポンプ15が設けられたことを特徴とする。  
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NI, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)