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1. US20100301954 - Piezoelectric resonator with control film to increase a degree of vacuum inside the package

官庁
アメリカ合衆国
出願番号 12852120
出願日 06.08.2010
公開番号 20100301954
公開日 02.12.2010
特許番号 08179021
特許付与日 15.05.2012
公報種別 B2
IPC
H01L 41/08
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
41圧電装置一般;電歪装置一般;磁歪装置一般;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置;それらの装置の細部
08圧電または電歪素子
H03H 9/19
H電気
03基本電子回路
Hインビーダンス回路網,例.共振回路;共振器
9電気機械的または電気音響的素子を含む回路網;電気機械的共振器
15圧電または電わい材料からなる共振器の構造上の特徴
17単一の共振器を持つもの
19水晶からなるもの
H01L 41/22
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
41圧電装置一般;電歪装置一般;磁歪装置一般;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置;それらの装置の細部
22圧電または電歪装置またはその部品の組み立て,製造または処理に特に適用される方法または装置
出願人 Seiko Instruments Inc.
発明者 Fukuda Junya
代理人 Brinks Hofer Gilson & Lione
優先権情報 2008-035382 16.02.2008 JP
2008-163492 23.06.2008 JP
発明の名称
(EN) Piezoelectric resonator with control film to increase a degree of vacuum inside the package
要約
(EN)

Provided are: a piezoelectric oscillation piece which has a pair of oscillation arms disposed in parallel with each other with base ends of the oscillation arms fixed to a base of the piezoelectric oscillation piece and with weight metal films formed at the tips of the oscillation arms; a base substrate on the upper surface of which the piezoelectric oscillation piece is mounted; a lid substrate joined with the base substrate such that the mounted piezoelectric oscillation piece can be accommodated in a cavity; and a control film disposed in the vicinity of the pair of the oscillation arms as viewed in the plan view and formed at least on either of the substrates in such a manner as to extend from the base end side to the tip side in the longitudinal direction of the oscillation arms for increasing the degree of vacuum inside the cavity by heating. The control film is locally deposited on the side surfaces of the oscillation arms in the vicinity of the control film by heating.