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1. (US20080030852) Lighting optical device, exposure system, and exposure method

官庁 : アメリカ合衆国
出願番号: 11665669 出願日: 12.10.2005
公開番号: 20080030852 公開日: 07.02.2008
特許番号: 08004658 特許付与日: 23.08.2011
公報種別: B2
PCT 関連事項: 出願番号:PCTJP2005018809 ; 公開番号: クリックしてデータを表示
IPC:
G03B 27/72
G03B 27/54
G02B 3/02
G02B 7/00
G02B 27/42
G02B 27/46
G 物理学
03
写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ
B
写真を撮影するためのまたは写真を投影もしくは直視するための装置または配置;光波以外の波を用いる類似技術を用いる装置または配置;そのための付属品
27
写真的焼付装置
72
写真的焼付装置における光の強度,スペクトルの組成,または露出時間の制御または変更
G 物理学
03
写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ
B
写真を撮影するためのまたは写真を投影もしくは直視するための装置または配置;光波以外の波を用いる類似技術を用いる装置または配置;そのための付属品
27
写真的焼付装置
32
投影焼付装置,例.引伸機,コピー用カメラ
52
細部
54
ランプハウス;照明装置
G 物理学
02
光学
B
光学要素,光学系,または光学装置
3
単レンズまたは複合レンズ
02
非球面をもつもの
G 物理学
02
光学
B
光学要素,光学系,または光学装置
7
光学要素用のマウント,調節手段,または光密結合
G 物理学
02
光学
B
光学要素,光学系,または光学装置
27
他の光学系;他の光学装置
42
回折光学系
G 物理学
02
光学
B
光学要素,光学系,または光学装置
27
他の光学系;他の光学装置
42
回折光学系
46
空間フィルターを用いた系
出願人: Nikon Corporation
発明者: Shigematsu Koji
代理人: Oliff & Berridge, PLC
優先権情報: 2004-303902 19.10.2004 JP
発明の名称: (EN) Lighting optical device, exposure system, and exposure method
要約: front page image
(EN)

An illumination optical apparatus is able to accomplish desired annular illumination, circular illumination, and so on, without substantial influence of the zero-order light from a diffractive optical element. The illumination optical apparatus comprises a diffractive optical element (3) which converts a light beam from a light source (1) into a light beam with a predetermined light intensity distribution; an optical integrator (8) disposed between the diffractive optical element and a surface to be illuminated (M) and adapted for forming a substantial surface illuminant on an illumination pupil plane on the basis of the light beam from the diffractive optical element; a shaping optical system (4, 6, 7) disposed between the diffractive optical element and the optical integrator and adapted for changing a size and shape of the substantial surface illuminant; and a preventing device disposed at a position substantially in the relation of Fourier transform with the diffractive optical element in an optical path of the shaping optical system, and adapted for preventing the zero-order light from the diffractive optical element from traveling along an illumination light path.


また、:
KR1020070057141EP1811544JP2006120675CN101006556WO/2006/043458