処理中

しばらくお待ちください...

設定

設定

出願の表示

1. RU2011148899 - СПЕЧЕННОЕ ИЗДЕЛИЕ ДЛЯ РАСПЫЛЯЕМОЙ МИШЕНИ НА ОСНОВЕ ZnO-Ga2O3 И СПОСОБ ЕГО ПОЛУЧЕНИЯ

官庁 ロシア連邦
出願番号 2011148899/02
出願日 27.04.2010
公開番号 2011148899
公開日 10.06.2013
公報種別 A
IPC
C23C 14/34
C化学;冶金
23金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般
C金属質への被覆;金属材料による材料への被覆;表面への拡散,化学的変換または置換による,金属材料の表面処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法または化学蒸着による被覆一般
14被覆形成材料の真空蒸着,スパッタリングまたはイオン注入法による被覆
22被覆の方法に特徴のあるもの
34スパッタリング
CPC
C23C 14/3414
CCHEMISTRY; METALLURGY
23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
14Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
22characterised by the process of coating
34Sputtering
3407Cathode assembly for sputtering apparatus, e.g. Target
3414Metallurgical or chemical aspects of target preparation, e.g. casting, powder metallurgy
C04B 35/453
CCHEMISTRY; METALLURGY
04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE
35Shaped ceramic products characterised by their composition
01based on oxide ceramics
453based on zinc, tin, or bismuth oxides or solid solutions thereof with other oxides, e.g. zincates, stannates or bismuthates
C04B 35/64
CCHEMISTRY; METALLURGY
04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE
35Shaped ceramic products characterised by their composition
622Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
64Burning or sintering processes
C04B2235/3284
CCHEMISTRY; METALLURGY
04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE
2235Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
3284Zinc oxides, zincates, cadmium oxides, cadmiates, mercury oxides, mercurates or oxide forming salts thereof
C04B2235/3286
CCHEMISTRY; METALLURGY
04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE
2235Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
3286Gallium oxides, gallates, indium oxides, indates, thallium oxides, thallates or oxide forming salts thereof, e.g. zinc gallate
C04B2235/5436
CCHEMISTRY; METALLURGY
04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE
2235Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
50Constituents or additives of the starting mixture chosen for their shape or used because of their shape or their physical appearance
54Particle size related information
5418expressed by the size of the particles or aggregates thereof
5436micrometer sized, i.e. from 1 to 100 micron
出願人 УЛВАК, ИНК. (JP)
発明者 НАГАЯМА Сацуки (JP)
САТОНОСОНО Каору (JP)
優先権情報 2009-111757 01.05.2009 JP
発明の名称
(RU) СПЕЧЕННОЕ ИЗДЕЛИЕ ДЛЯ РАСПЫЛЯЕМОЙ МИШЕНИ НА ОСНОВЕ ZnO-Ga2O3 И СПОСОБ ЕГО ПОЛУЧЕНИЯ
要約
(RU)
1. Способ получения спеченного изделия для распыляемой мишени на основе ZnO-Ga2O3, включающий стадии, на которых: формируют смесь порошков из порошка оксида цинка и порошка оксида галлия; помещают порошковую формовку из смеси порошков внутрь контейнера, устанавливаемого внутри печи для спекания; повышают температуру порошковой формовки до температуры спекания не менее 1200°С, но не более 1500°С, с введением в то же время кислорода внутрь контейнера; поддерживают температуру спекания в состоянии, при котором внутрь контейнера вводят кислород; и снижают температуру внутри печи в состоянии, при котором прекращают введение кислорода внутрь контейнера. 2. Способ получения спеченного изделия для распыляемой мишени на основе ZnO-Ga2O3 по п.1, в котором величина расхода потока кислорода, вводимого внутрь контейнера, составляет 20 л/мин или менее. 3. Способ получения спеченного изделия для распыляемой мишени на основе ZnO-Ga2O3 по п.1, в котором количество порошка оксида галлия в смеси составляет 2 вес.% или менее. 4. Способ получения спеченного изделия для распыляемой мишени на основе ZnO-Ga2O3 по п.1, в котором контейнер включает множество контейнеров, установленных внутри печи для спекания, таким образом, что порошковые формовки, каждую из которых помещают во множество контейнеров, подвергают спеканию одновременно. 5. Спеченное изделие для распыляемой мишени на основе ZnO-Ga2O3, включающее спеченное изделие из смеси порошков из порошка оксида цинка и порошка оксида галлия, и имеющее относительную плотность 98% или более, средний диаметр зерен 50 мкм или менее, и удельное электрическое сопротивление 2×10-3 Ом·см или менее. 6. Спеченное изделие для распыляемой мишени на основе ZnO-Ga2O3 по п.5, в котором распределение величины удельного электрического сопротивления по каждому из направления по плоскости и направления по глубине спеченного изделия составляет 20% или менее.