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1. (KR1020070057141) LIGHTING OPTICAL DEVICE, EXPOSURE SYSTEM, AND EXPOSURE METHOD

官庁 : 大韓民国
出願番号: 1020077002542 出願日: 31.01.2007
公開番号: 1020070057141 公開日: 04.06.2007
公報種別: A
IPC:
G02B 13/24
G 物理学
02
光学
B
光学要素,光学系,または光学装置
13
以下に詳細に記載される目的のために特に設計された対物レンズ
24
短物体距離にて複製または複写に使用するもの
CPC:
G02B 27/46
G02B 5/001
G03F 7/70075
G03F 7/70108
G03F 7/70158
G03F 7/70191
出願人: NIKON CORPORATION
가부시키가이샤 니콘
発明者: SHIGEMATSU KOJI
시게마츠 고지
代理人: 김태홍
송승필
優先権情報: JP-P-2004-00303902 19.10.2004 JP
発明の名称: (EN) LIGHTING OPTICAL DEVICE, EXPOSURE SYSTEM, AND EXPOSURE METHOD
(KO) 조명 광학 장치, 노광 장치 및 노광 방법
要約: front page image
(EN)

A lighting optical device capable of realizing desired zonal lighting or circular lighting without substantially being affected by a zero-order light from a diffraction optical element. The device comprises a diffraction optical element (3) for converting a light beam from a light source (1) into a light beam with a specified light intensity distribution, an optical integrator (8) disposed between the diffraction optical element and a surface (M) to be irradiated to form a substantial surface illuminant on a lighting pupil surface based on a light beam from the diffraction optical element, shaping optical systems (4, 6, 7) disposed between the diffraction optical element and the optical integrator to vary the size and the shape of the substantial surface illuminant, and a blocking means disposed, on the light path of the shaping optical system, at a position in substantially Fourier transform relation with the diffraction optical element to block zero-order light from the diffraction optical element against advancing along a lighting light path.

© KIPO & WIPO 2007


(KO) 본 발명은 회절 광학 소자로부터의 0차광의 영향을 실질적으로 받지 않고, 원하는 환형띠 조명이나 원형 조명 등을 실현할 수 있는 조명 광학 장치에 관한 것이다. 광원(1)으로부터의 광속을 소정의 광강도 분포의 광속으로 변환하는 회절 광학 소자(3)와, 회절 광학 소자와 피조사면(M) 사이에 배치되어 회절 광학 소자로부터의 광속에 기초하여 조명 동공면(pupil surface)에 실질적인 면 광원을 형성하는 광 인터그레이터(8)와, 회절 광학 소자와 광 인터그레이터 사이에 배치되어 실질적인 면 광원의 크기 및 형상을 변화시키는 정형 광학계(4, 6, 7)와, 정형 광학계의 광로 내에 있어서 회절 광학 소자와 실질적으로 푸리에 변환의 관계에 있는 위치에 배치되어 회절 광학 소자로부터의 O 차광이 조명 광로를 따라서 진행하는 것을 저지하는 저지 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.
また、:
EP1811544JP2006120675US20080030852CN101006556WO/2006/043458