処理中

しばらくお待ちください...

設定

設定

出願の表示

1. KR1020040044524 - OPTICAL COATINGS AND ASSOCIATED METHODS

注意: このテキストは、OCR 処理によってテキスト化されたものです。法的な用途には PDF 版をご利用ください。

[ KO ]
청구의 범위
청구항 1
기판에 대한 광학 코팅으로서,
유전체의 제 1 반사 방지층;
상기 제 1 반사 방지층 상부의 제 1 금속층; 및
상기 제 1 금속층 상부의 유전체의 제 2 반사 방지층을 포함하고,
상기 제 1 반사 방지층과 상기 제 2 반사 방지층 중 적어도 하나는 비결정 물질을 포함하며, 상기 비결정 물질은 산화 티타늄 및 첨가제를 포함하고, 산화 상태의 상기 첨가제는 상기 산화 티타늄과 함께 고체 용액을 형성하지 않는 것을 특징으로 하는 광학 코팅.
청구항 2
제 1 항에 있어서, 상기 첨가제는 실리콘, 알루미늄, 비스무트, 가돌리늄, 탄탈, 아연, 및 이들의 임의의 조합으로 이루어진 그룹으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 광학 코팅.
청구항 3
제 1 항에 있어서, 상기 제 1 금속층은 은을 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 코팅.
청구항 4
제 1 항에 있어서, 상기 제 1 반사 방지층과 상기 제 1 금속층 사이의 배리어층을 더 포함하는 광학 코팅.
청구항 5
제 1 항에 있어서, 상기 제 1 금속층과 상기 제 2 반사 방지층 사이의 배리어층을 더 포함하는 광학 코팅.
청구항 6
제 4 항 또는 제 5 항에 있어서, 상기 배리어층은 티타늄, 니켈-크롬, 알루미늄, 및 아연으로 이루어진 그룹으로부터 선택되는 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 코팅.
청구항 7
기판에 대한 광학 코팅으로서,
유전체의 제 1 반사 방지층;
상기 제 1 반사 방지층 상부의 제 1 금속층;
상기 제 1 금속층 상부의 유전체의 제 2 반사 방지층;
상기 제 2 반사 방지층 상부의 제 2 금속층; 및
상기 제 2 금속층 상부의 유전체의 제 3 반사 방지층을 포함하고,
상기 제 1 반사 방지층, 상기 제 2 반사 방지층, 및 상기 제 3 반사 방지층 중 적어도 하나는 비결정 물질을 포함하고, 상기 비결정 물질은 산화 티타늄 및 첨가제를 포함하며, 산화 상태의 상기 첨가제는 상기 산화 티타늄과 함께 고체 용액을 형성하지 않는 것을 특징으로 하는 광학 코팅.
청구항 8
제 7 항에 있어서, 상기 첨가제는 실리콘, 비스무트, 가돌리늄, 아연, 및 이들의 임의의 조합으로 이루어진 그룹으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 광학 코팅.
청구항 9
제 7 항에 있어서, 상기 제 2 금속층은 은을 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 코팅.
청구항 10
제 7 항에 있어서, 상기 제 2 반사 방지층과 상기 제 2 금속층 사이의 배리어층을 더 포함하는 광학 코팅.
청구항 11
제 7 항에 있어서, 상기 제 2 금속층과 상기 제 3 반사 방지층 사이의 배리어층을 더 포함하는 광학 코팅.
청구항 12
제 10 항 또는 제 11 항에 있어서, 상기 배리어층은 티타늄, 니켈-크롬, 알루미늄, 및 아연으로 이루어진 그룹으로부터 선택되는 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 코팅.
청구항 13
기판에 대한 광학 코팅으로서,
제 1 고-굴절률 층;
상기 제 1 고-굴절률 층 상부의 제 1 저-굴절률 층;
상기 제 1 저-굴절률 층 상부의 제 2 고-굴절률 층; 및
상기 제 2 고-굴절률 층 상부의 제 2 저-굴절률 층을 포함하고,
상기 제 1 고-굴절률 층과 상기 제 2 고-굴절률 층 중 적어도 하나는 비결정 물질을 포함하고, 상기 비결정 물질은 산화 티타늄 및 첨가제를 포함하며, 산화 상태의 상기 첨가제는 상기 산화 티타늄과 함께 고체 용액을 형성하지 않는 것을 특징으로 하는 광학 코팅.
청구항 14
제 13 항에 있어서, 상기 첨가제는 실리콘, 알루미늄, 비스무트, 가돌리늄, 탄탈, 아연, 및 이들의 임의의 조합으로 이루어진 그룹으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 광학 코팅.
청구항 15
제 14 항에 있어서, 상기 제 1 저-굴절률 층과 상기 제 2 저-굴절률 층 중 적어도 하나는 이산화 실리콘 및 은으로 이루어진 그룹으로부터 선택되는 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 코팅.
청구항 16
기판을 코팅하는 방법으로서,
기판 상부에 유전체의 제 1 반사 방지층을 증착하는 단계;
상기 제 1 반사 방지층 상부에 금속층을 증착하는 단계; 및
상기 금속층 상부에 유전체의 제 2 반사 방지층을 증착하는 단계를 포함하고,
상기 제 1 반사 방지층과 상기 제 2 반사 방지층 중 적어도 하나는 비결정 물질을 포함하며, 상기 비결정 물질은 산화 티타늄 및 첨가제를 포함하고, 산화 상태의 상기 첨가제는 상기 산화 티타늄과 함께 고체 용액을 형성하지 않는 것을 특징으로 하는 코팅 방법.
청구항 17
제 16 항에 있어서, 상기 제 1 반사 방지층, 상기 금속층, 및 상기 제 2 반사 방지층의 증착 후에 상기 기판의 열처리 온도보다 더 높은 온도로 상기 코팅된 기판을 가열하는 단계를 더 포함하는 코팅 방법.
청구항 18
제 16 항에 있어서, 상기 제 1 반사 방지층을 증착하는 단계, 상기 금속층을 증착하는 단계, 및 상기 제 2 반사 방지층을 증착하는 단계 중 적어도 하나는 스퍼터링을 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅 방법
청구항 19
제 18 항에 있어서, 상기 제 1 반사 방지층을 증착하는 단계 및 상기 제 2 반사 방지층을 증착하는 단계는 산소 분위기의 스퍼터링을 포함하며, 타겟은 티타늄과 상기 첨가제를 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅 방법.
청구항 20
제 18 항에 있어서, 상기 제 1 반사 방지층을 증착하는 단계 및 상기 제 2 반사 방지층을 증착하는 단계는 산소 분위기의 스퍼터링을 포함하며, 제 1 타겟은 티타늄을 포함하고 제 2 타겟은 상기 첨가제를 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅 방법.
청구항 21
제 16 항에 있어서, 상기 첨가제는 실리콘, 알루미늄, 비스무트, 가돌리늄, 탄탈, 아연 및 이들의 임의의 조합으로 이루어진 그룹으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 코팅 방법.