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1. (KR1020090130369) DEVICE AND METHOD FOR ACQUIRING A FIELD BY MEASUREMENT

官庁 : 大韓民国
出願番号: 1020097020807 出願日: 28.03.2008
公開番号: 1020090130369 公開日: 23.12.2009
特許番号: 1011276820000 特許付与日: 05.06.2012
公報種別: B1
PCT 関連事項: 出願番号:PCTJP2008056137 ; 公開番号:WO2008123432 クリックしてデータを表示
IPC:
G01Q 60/50
G01N 27/90
G01R 29/12
G 物理学
01
測定;試験
Q
走査プローブ技術または装置;走査プローブ技術の応用,例.走査プローブ型顕微鏡[2010.01]
60
特定の型のSPMまたはそのための装置;その基本的な構成部品
50
MFMまたはそのための装置,例.MFM用のプローブ
G 物理学
01
測定;試験
N
材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
27
電気的,電気化学的,または磁気的手段の利用による材料の調査または分析
72
磁気変量の調査によるもの
82
きずの調査用
90
渦電流を用いるもの
G 物理学
01
測定;試験
R
電気的変量の測定;磁気的変量の測定
29
グループ19/00~27/00に包含されない電気量を指示しまたは測定する装置
12
静電界の測定
出願人: KYOTO UNIVERSITY
고쿠리츠 다이가쿠 호진 교토 다이가쿠
発明者: KIMURA KENJIRO
기무라 켄지로
KOBAYASHI KEI
고바야시 케이
YAMADA HIROFUMI
야마다 히로후미
MATSUSHIGE KAZUMI
마츠시게 카즈미
HORIUCHI TAKASHI
호리우치 타카시
SATOH NOBUO
사토 노부오
NAKAI AKIFUMI
나카이 아키후미
代理人: 특허법인 원전
優先権情報: JP-P-2007-091856 30.03.2007 JP
発明の名称: (EN) DEVICE AND METHOD FOR ACQUIRING A FIELD BY MEASUREMENT
(KO) 측정에 의해 장을 취득하는 장치 및 방법
要約: front page image
(EN) A magnetic force distribution on a measurement plane (91) is acquired as a magnetic force image above a sample (9) having a magnetic domain by using an MFM. Measurement is executed on a measurement plane (92) apart from the measurement plane (91) by a small distance d so as to acquire an auxiliary magnetic force image. The difference between them is divided by the small distance d so as to obtain a magnetic force gradient image. The magnetic force image and the auxiliary magnetic force image are subjected to the Fourier transform and substituted into a tertiary field acquisition expression derived from a general solution of the Laplace expression. Thus, it is possible to obtain a tertiary field indicating a magnetic force with a high accuracy. By acquiring the tertiary field, it is also possible to obtain the state of the magnetic domain on a surface (93) of a sample (9) with a high accuracy. The tertiary field acquisition method using the tertiary field acquisition expression can be applied to various fields which satisfy the Laplace expression such as a magnetic position, an electric potential, a temperature, and a gravity potential. Moreover, the tertiary field acquisition can be extended to acquisition of a higher n-dimension field. COPYRIGHT KIPO WIPO 2010
(KO) 자구를 가지는 시료(9)의 상방에 있어서, MFM을 이용해서 측정면(91)에서의 자기력의 분포가 자기력화상으로서 취득되고, 측정면(91)으로부터 미소거리 d만큼 떨어진 측정면(92)에서 측정을 행해서 보조 자기력화상이 취득되며, 이것들의 차분을 미소거리 d로 제산해서 자기력구배화상이 취득된다. 자기력화상 및 보조 자기력화상은 푸리에 변환되어 라플라스 방정식의 일반해로부터 유도되는 3차원장 취득식에 대입되고, 자기력을 나타내는 3차원장이 고정밀도로 취득된다. 3차원장의 취득에 의해, 시료(9)의 표면(93)에 있어서의 자구(磁區)의 모습도 고정밀도로 얻을 수 있다. 3차원장 취득식을 이용하는 3차원장 취득방법은, 라플라스 방정식을 만족한 자위, 전위, 온도, 중력포텐셜 등의 여러가지 장에 이용할 수 있다. 또한 3차원장의 취득은 고차의 n차원장의 취득으로 확장할 수 있다.
また、:
EP2141481JPWO2008123432US20100219819JP4878063WO/2008/123432