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1. KR1020090007426 - SERVER DEVICE, AND PROGRAM

官庁 大韓民国
出願番号 1020087027696
出願日 12.11.2008
公開番号 1020090007426
公開日 16.01.2009
特許番号 1010167210000
特許付与日 25.02.2011
公報種別 B1
IPC
H01L 21/02
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02半導体装置またはその部品の製造または処理
G05B 19/418
G物理学
05制御;調整
B制御系または調整系一般;このような系の機能要素;このような系または要素の監視または試験装置
19プログラム制御系
02電気式
418総合的工場管理,すなわち,複数の機械の集中管理,例.直接または分散数値制御(DNC),フレキシブルマニュファクチャリングシステム(FMS),インテグレーテッドマニュファクチャリングシステム(IMS),コンピュータインテグレーテッドマニュファクチャリング(CIM)
G05B 23/02
G物理学
05制御;調整
B制御系または調整系一般;このような系の機能要素;このような系または要素の監視または試験装置
23制御系またはその一部の試験または監視
02電気式試験または監視
G06Q 50/00
G物理学
06計算;計数
Q管理目的,商用目的,金融目的,経営目的,監督目的または予測目的に特に適合したデータ処理システムまたは方法;他に分類されない,管理目的,商用目的,金融目的,経営目的,監督目的または予測目的に特に適合したシステムまたは方法
50特定の業種に特に適合したシステムまたは方法,例.公益事業または観光業
出願人 TOKYO ELECTRON LIMITED
発明者 INOKAWA TAKUMI
KOYAMA NORIAKI
優先権情報 2006129729 09.05.2006 JP
発明の名称
(EN) SERVER DEVICE, AND PROGRAM
要約
(EN)
[PROBLEMS TO BE SOLVED]Conventionally, filtering of information measured in the number of product wafers cannot compose a chart.[MEANS FOR SOLVING THE PROBLEMS]Measured data in a plurality of manufacturing devices are time sequential information. The measured data have the number of product wafers and time information. A server device is comprised of an instruction reception unit for storing a plurality of the measured data, and for receiving an output of a chart instruction including the number of the product wafers; an abnormality detecting unit for reading out a plurality of measured data in conformity with conditions of the number of product wafers in clued in the output instruction and for judging whether a plurality of the read out measured data are in conformity with condition information when the instruction reception unit receives the output instruction; an output information composing unitfor composing output information in accordance with a judging result of the abnormality detecting unit; and output unit for outputting the output composed by the output composing unit, so that filtering of the information measured in the number of product wafers can compose a chart. ©KIPO&WIPO 2009