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1. KR1020210145769 - 상태 판정 장치, 상태 판정 방법 및 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체

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官庁
大韓民国
出願番号 1020217033354
出願日 18.03.2020
公開番号 1020210145769
公開日 02.12.2021
公報種別 A
IPC
G05B 23/02
G物理学
05制御;調整
B制御系または調整系一般;このような系の機能要素;このような系または要素の監視または試験装置
23制御系またはその一部の試験または監視
02電気式試験または監視
H01L 21/677
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
677移送のためのもの,例.異なるワ―クステーション間での移送
CPC
G05B 23/02
GPHYSICS
05CONTROLLING; REGULATING
BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
23Testing or monitoring of control systems or parts thereof
02Electric testing or monitoring
H01L 21/677
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
677for conveying, e.g. between different workstations
出願人 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
発明者 마키, 준노스케
도요나가, 마사오미
오타, 아츠시
오카다, 모토이
즈츠이, 다쿠로
사노, 게이
야노, 미츠테루
代理人 장수길
김성환
성재동
優先権情報 JP-P-2019-058391 26.03.2019 JP
発明の名称
(KO) 상태 판정 장치, 상태 판정 방법 및 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체
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要約
(KO) 상태 판정 장치는, 기판 처리 장치에 있어서 기판을 보유 지지하면서 동작시키도록 구성된 구동 기구의 상태를 판정한다. 당해 상태 판정 장치는, 구동 기구의 동작 데이터를 취득하도록 구성된 취득부와, 구동 기구의 정상 동작 시에 있어서 취득부에 의해 취득된 동작 데이터에서 유래되는 정상 동작 데이터에 기초하여, 오토 인코더를 사용한 기계 학습을 실행함으로써, 구동 기구의 감시 모델을 생성하도록 구성된 모델 생성부와, 구동 기구의 평가 시에 있어서 취득부에 의해 취득된 동작 데이터에서 유래되는 평가 데이터를 감시 모델에 입력해서 얻어지는 제1 출력 데이터에 기초하여, 구동 기구의 상태를 판정하도록 구성된 제1 판정부를 구비한다.
関連特許文献
WO/2020/196195
CN113614664
JPWO2020196195
US20220223443
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