(KO) 상태 판정 장치는, 기판 처리 장치에 있어서 기판을 보유 지지하면서 동작시키도록 구성된 구동 기구의 상태를 판정한다. 당해 상태 판정 장치는, 구동 기구의 동작 데이터를 취득하도록 구성된 취득부와, 구동 기구의 정상 동작 시에 있어서 취득부에 의해 취득된 동작 데이터에서 유래되는 정상 동작 데이터에 기초하여, 오토 인코더를 사용한 기계 학습을 실행함으로써, 구동 기구의 감시 모델을 생성하도록 구성된 모델 생성부와, 구동 기구의 평가 시에 있어서 취득부에 의해 취득된 동작 데이터에서 유래되는 평가 데이터를 감시 모델에 입력해서 얻어지는 제1 출력 데이터에 기초하여, 구동 기구의 상태를 판정하도록 구성된 제1 판정부를 구비한다.