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国際・国内特許データベース検索
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1. (KR1020190038755) 마스킹 디바이스를 비접촉식으로 부상시키기 위한 방법

官庁 : 大韓民国
出願番号: 1020187030185 出願日: 26.09.2017
公開番号: 1020190038755 公開日: 09.04.2019
公報種別: A
(国内移行後) 元 PCT 国際出願 出願番号: ; 公開番号:WO2019063062 クリックしてデータを表示
IPC:
H01L 51/56
H01L 21/02
H01L 21/677
H01L 21/68
H01L 51/00
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
51
能動部分として有機材料を用い,または能動部分として有機材料と他の材料との組み合わせを用いる固体装置;このような装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
50
光放出に特に適用されるもの,例.有機発光ダイオード(OLED)または高分子発光ダイオード(PLED)
56
このような装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
677
移送のためのもの,例.異なるワ―クステーション間での移送
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
68
位置決め,方向決め,または整列のためのもの
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
51
能動部分として有機材料を用い,または能動部分として有機材料と他の材料との組み合わせを用いる固体装置;このような装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
CPC:
H01L 51/56
H01L 21/02631
H01L 21/67709
H01L 21/67712
H01L 21/67751
H01L 21/682
H01L 51/0018
出願人: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
発明者: 애들러, 티모
代理人: 특허법인 남앤남
優先権情報:
発明の名称: (KO) 마스킹 디바이스를 비접촉식으로 부상시키기 위한 방법
要約: front page image
(KO) 방법은 마스크 조립체(200)를 비접촉식으로 부상시키는 단계를 포함한다. 마스크 조립체는 캐리어(210), 및 캐리어에 의해 지지된 마스킹 디바이스(20)를 포함한다. 방법은 마스크 조립체가 비접촉식으로 부상되어 있는 동안에 캐리어의 형상을 제어하는 단계를 포함한다.
Also published as:
CN109844163WO/2019/063062