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1. (KR1020160125957) 연마용 조성물

官庁 : 大韓民国
出願番号: 1020167021847 出願日: 20.01.2015
公開番号: 1020160125957 公開日: 01.11.2016
公報種別: A
(国内移行後) 元 PCT 国際出願 出願番号: ; 公開番号:WO2015129342 クリックしてデータを表示
IPC:
C09G 1/02
B24B 37/04
C09K 3/14
H01L 21/304
H01L 21/306
H01L 21/321
C 化学;冶金
09
染料;ペイント;つや出し剤;天然樹脂;接着剤;他に分類されない組成物;他に分類されない材料の応用
G
フレンチポリッシュ以外のつや出し組成物;スキーワックス
1
つや出し組成物
02
研摩剤または粉砕剤を含むもの
B 処理操作;運輸
24
研削;研磨
B
研削または研磨するための機械,装置,または方法;研削面のドレッシングまたは正常化;研削剤,研磨剤,またはラッピング剤の供給
37
ラッピング機械または装置;附属装置
04
平面を加工するために設計されたもの
C 化学;冶金
09
染料;ペイント;つや出し剤;天然樹脂;接着剤;他に分類されない組成物;他に分類されない材料の応用
K
他に分類されない応用される物質;他に分類されない物質の応用
3
物質であって,他に分類されないもの
14
抗スリップ物質;研摩物質
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
04
少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
18
不純物,例.ドーピング材料,を含むまたは含まない周期律表第IV族の元素またはA↓I↓I↓IB↓V化合物から成る半導体本体を有する装置
30
21/20~21/26に分類されない方法または装置を用いる半導体本体の処理
302
表面の物理的性質または形状を変換するため,例.エッチング,ポリシング,切断
304
機械的処理,例.研摩,ポリシング,切断
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
04
少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
18
不純物,例.ドーピング材料,を含むまたは含まない周期律表第IV族の元素またはA↓I↓I↓IB↓V化合物から成る半導体本体を有する装置
30
21/20~21/26に分類されない方法または装置を用いる半導体本体の処理
302
表面の物理的性質または形状を変換するため,例.エッチング,ポリシング,切断
306
化学的または電気的処理,例.電解エッチング
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
04
少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
18
不純物,例.ドーピング材料,を含むまたは含まない周期律表第IV族の元素またはA↓I↓I↓IB↓V化合物から成る半導体本体を有する装置
30
21/20~21/26に分類されない方法または装置を用いる半導体本体の処理
31
半導体本体上への絶縁層の形成,例.マスキング用またはフォトリソグラフィック技術の使用によるもの;これらの層の後処理;これらの層のための材料の選択
3205
絶縁層へ非絶縁層,例.導電層または抵抗層,の付着;これらの層の後処理
321
後処理
CPC:
C09G 1/02
B24B 37/044
C09K 3/1463
C23F 3/00
H01L 21/3212
出願人: 가부시키가이샤 후지미인코퍼레이티드
発明者: 야스이 아키히토
代理人: 장수길
성재동
優先権情報: JP-P-2014-035798 26.02.2014 JP
発明の名称: (KO) 연마용 조성물
要約:
(KO) 본 발명은 코발트 원소를 포함하는 층을 갖는 연마 대상물을 연마하는 용도로 사용되는 연마용 조성물이며, 코발트 용해 억제제와, pH 조정제를 포함하고, pH가 4 이상 12 이하이고, 상기 코발트 용해 억제제는, 에테르 결합을 갖는 유기 화합물, 히드록시기를 갖는 유기 화합물, 카르복실기를 가짐과 함께 분자량이 130 이상인 유기 화합물, 및 이들 염으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종인, 연마용 조성물에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 코발트 원소를 포함하는 층을 갖는 연마 대상물을 연마할 때, 코발트 원소를 포함하는 층의 용해를 억제할 수 있는 연마용 조성물이 제공된다.
Also published as:
EP3112436US20170009101JPWO2015129342WO/2015/129342