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1. (KR1020160140760) 광원 장치, 방전 램프 및 그 제조 방법, 및 노광 장치

官庁 : 大韓民国
出願番号: 1020167029369 出願日: 30.03.2015
公開番号: 1020160140760 公開日: 07.12.2016
公報種別: A
(国内移行後) 元 PCT 国際出願 出願番号: ; 公開番号:WO2015147327 クリックしてデータを表示
IPC:
G03F 7/20
H01J 5/50
H01J 61/52
H01J 61/86
G 物理学
03
写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ
F
フォトメカニカル法による凹凸化又はパターン化された表面の製造,例.印刷用,半導体装置の製造法用;そのための材料;そのための原稿;そのために特に適合した装置
7
フォトメカニカル法,例.フォトリソグラフ法,による凹凸化又はパターン化された表面,例.印刷表面,の製造;そのための材料,例.フォトレジストからなるもの;そのため特に適合した装置
20
露光;そのための装置
H 電気
01
基本的電気素子
J
電子管または放電ランプ
5
電子管または放電ランプの2以上の基本的な型に共通なうつわまたは導入線に関連する細部
50
電気的接続を行うための管またはランプの部分を形成する手段
H 電気
01
基本的電気素子
J
電子管または放電ランプ
61
ガス放電または蒸気放電ランプ
02
細部
52
冷却装置;加熱装置;放電空間のガスまたは蒸気を循環させる手段
H 電気
01
基本的電気素子
J
電子管または放電ランプ
61
ガス放電または蒸気放電ランプ
84
高圧により収斂された放電をもつランプ
86
近接した電極間の空間によって付加的に収斂される放電をもつもの,例.光学的投射用のもの
CPC:
H01J 5/50
G03F 7/70016
G03F 7/70975
H01J 61/52
H01J 61/86
出願人: 가부시키가이샤 니콘
発明者: 아오키 야스오
기쿠치 다카유키
시라스 히로시
代理人: 특허법인태평양
優先権情報: JP-P-2014-070609 28.03.2014 JP
発明の名称: (KO) 광원 장치, 방전 램프 및 그 제조 방법, 및 노광 장치
要約:
(KO) 양극 및 음극이 내부에 마련된 유리관과, 그 발광부에 대해서 양극측 및 음극측에 각각 마련된 구금부를 가지는 방전 램프를 발광시키기 위한 광원 장치로서, 방전 램프를 보관하는 보관부와, 방전 램프의 구금부를 착탈 가능하게 지지하는 지지 부재와, 지지 부재에 지지된 방전 램프의 구금부에 전력 케이블을 착탈 가능하게 연결하는 클램프 기구와, 지지 부재에 의한 구금부의 지지 및 클램프 기구에 의한 구금부에 대한 전력 케이블의 연결이 해제되어 있는 상태에서, 구금부를 유지하여 방전 램프를 보관부와 지지 부재와의 사이에서 반송하는 램프 반송계를 구비한다. 방전 램프의 교환을 효율적으로 행할 수 있다.
Also published as:
JPWO2015147327CN106415396WO/2015/147327