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1. (KR1020160112001) 기판 처리 장치

官庁 : 大韓民国
出願番号: 1020167023329 出願日: 03.03.2015
公開番号: 1020160112001 公開日: 27.09.2016
特許番号: 1017705350000 特許付与日: 22.08.2017
公報種別: B1
(国内移行後) 元 PCT 国際出願 出願番号: ; 公開番号:WO2015137188 クリックしてデータを表示
IPC:
H01L 21/02
H01L 21/67
H01L 21/687
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
683
支持または把持のためのもの
687
機械的手段を使用するもの,例.チャック,クランプ,またはピンチ
CPC:
H01L 21/02052
B08B 3/041
B08B 3/08
B08B 3/10
B08B 11/02
C11D 11/0047
H01L 21/67051
H01L 21/68764
出願人: 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
発明者: 나카이 히토시
代理人: 특허법인코리아나
優先権情報: JP-P-2014-049634 13.03.2014 JP
発明の名称: (KO) 기판 처리 장치
要約: front page image
(KO) 기판 처리 장치 (1) 는, 기판 유지부 (31) 와, 기판 유지부 (31) 를 기판 (9) 과 함께 회전시키는 기판 회전 기구 (32) 와, 기판 (9) 을 향하여 처리액을 공급하는 처리액 공급부 (5) 와, 회전하는 기판 (9) 으로부터 비산되는 처리액을 내주면 (412) 에서 받는 컵부 (4) 와, 기판 (9) 의 상방에 배치됨과 함께 기판 (9) 의 외주 가장자리보다 중심축 (J1) 을 중심으로 하는 직경 방향 외측까지 확대되는 톱 플레이트 (22) 와, 처리액에 의한 기판 (9) 의 처리와 병행하여, 기판 (9) 의 회전 방향과 동일한 방향으로 회전하는 톱 플레이트 (22) 의 상면 (224) 에 액체를 공급함으로써, 컵부 (4) 의 내주면 (412) 상에 기판 (9) 의 회전 방향과 동일한 방향으로 회전하는 선회 액막 (95) 을 형성하는 액막 형성부 (24) 를 구비한다. 기판 처리 장치 (1) 에서는, 기판 (9) 으로부터 비산된 처리액과 컵부 (4) 의 충돌에 의해서 발생되는 비말이, 기판 (9) 에 부착되는 것을 억제할 수 있다.
Also published as:
CN106104761US20170098538WO/2015/137188