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1. (KR1020150125726) 산화물 소결체 및 그 산화물 소결체로 이루어지는 스퍼터링 타깃

官庁 : 大韓民国
出願番号: 1020157029745 出願日: 22.01.2015
公開番号: 1020150125726 公開日: 09.11.2015
特許番号: 1016447670000 特許付与日: 01.08.2016
公報種別: B1
(国内移行後) 元 PCT 国際出願 出願番号: ; 公開番号:WO2015146252 クリックしてデータを表示
IPC:
C04B 35/01
C04B 35/64
C23C 14/08
C23C 14/34
C 化学;冶金
04
セメント;コンクリート;人造石;セラミックス;耐火物
B
石灰;マグネシア;スラグ;セメント;その組成物,例.モルタル,コンクリートまたは類似の建築材料;人造石;セラミックス;耐火物;天然石の処理
35
組成に特徴を持つ成形セラミック製品;セラミック組成;セラミック製品を製造するための無機化合物粉末の処理
01
酸化物を基とするもの
C 化学;冶金
04
セメント;コンクリート;人造石;セラミックス;耐火物
B
石灰;マグネシア;スラグ;セメント;その組成物,例.モルタル,コンクリートまたは類似の建築材料;人造石;セラミックス;耐火物;天然石の処理
35
組成に特徴を持つ成形セラミック製品;セラミック組成;セラミック製品を製造するための無機化合物粉末の処理
622
製造方法;セラミック製品を製造するための無機化合物粉末の処理方法
64
焼成または焼結方法
C 化学;冶金
23
金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般
C
金属質への被覆;金属材料による材料への被覆;表面への拡散,化学的変換または置換による,金属材料の表面処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般
14
被覆形成材料の真空蒸着,スパッタリングまたはイオン注入法による被覆
06
被覆材料に特徴のあるもの
08
酸化物
C 化学;冶金
23
金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般
C
金属質への被覆;金属材料による材料への被覆;表面への拡散,化学的変換または置換による,金属材料の表面処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般
14
被覆形成材料の真空蒸着,スパッタリングまたはイオン注入法による被覆
22
被覆の方法に特徴のあるもの
34
スパッタリング
CPC:
C23C 14/3414
C04B 35/453
C04B2235/3286
C04B2235/6567
C04B2235/6583
C04B2235/77
C04B2235/786
C04B2235/80
C23C 14/08
出願人: 제이엑스 닛코 닛세키 킨조쿠 가부시키가이샤
제이엑스금속주식회사
発明者: 가쿠타 고지
오사다 고조
가쿠타 고지
오사다 고조
代理人: 특허법인코리아나
특허법인코리아나
優先権情報: JP-P-2014-068969 28.03.2014 JP
発明の名称: (KO) 산화물 소결체 및 그 산화물 소결체로 이루어지는 스퍼터링 타깃
要約: front page image
(KO) 인듐 (In), 갈륨 (Ga), 아연 (Zn), 산소 (O) 및 불가피적 불순물로 이루어지는 산화물 소결체로서, In, Ga 및 Zn 의 원자비로 In : Ga : Zn = 1 : 1 : 1 로 이루어지는 IGZO (111) 상과, IGZO (111) 상보다 Zn 을 많이 함유하는 IGZO 상을 구비하고, IGZO (111) 상보다 Zn 을 많이 함유하는 IGZO 상이 면적 비율로 1 ∼ 10 % 이고, 그 산화물 소결체의 In, Ga 및 Zn 의 원자수비가, In : Ga : Zn = 1 : 1 : (1.02 ∼ 1.10) 으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 산화물 소결체. 원하는 캐리어 농도를 갖는 막을 얻기 위해 필요한 스퍼터시의 산소 농도를 저감시키는 것이 가능한 IGZO 산화물 소결체를 제공하는 것을 과제로 한다.
Also published as:
CN105209405WO/2015/146252