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1. (KR1020140141695) 방전램프, 접속용 케이블, 광원장치 및 노광장치

官庁 : 大韓民国
出願番号: 1020147030352 出願日: 03.04.2008
公開番号: 1020140141695 公開日: 10.12.2014
公報種別: A
(国内移行後) 元 PCT 国際出願 出願番号:PCTJP2008056719 ; 公開番号:WO2008129932 クリックしてデータを表示
IPC:
H01J 61/52
H 電気
01
基本的電気素子
J
電子管または放電ランプ
61
ガス放電または蒸気放電ランプ
02
細部
52
冷却装置;加熱装置;放電空間のガスまたは蒸気を循環させる手段
CPC:
H01J 61/52
出願人: 가부시키가이샤 니콘
発明者: 기쿠치 다카유키
기타노 히로시
代理人: 특허법인태평양
優先権情報: 60/907,656 12.04.2007 US
発明の名称: (KO) 방전램프, 접속용 케이블, 광원장치 및 노광장치
要約: front page image
(KO) 방전램프의 패럴부재에 대한 냉각작용이 큰 광원장치이다. 전원(32) 및 송풍장치(34) 측의 커넥터(41)와 방전램프(1)의 패럴 측 커넥터(52)를 전력케이블(33A) 내에 송풍배기관(35A)이 수납된 연결케이블(57)에 의해 연결한다. 전원(32)으로부터의 전력을 연결케이블(57)의 전력케이블(33A), 패럴 측 커넥터(52) 및 유로절곡부재(51)를 통하여 패럴부(28)로 공급하고, 송풍장치(34)로부터의 냉풍을 연결케이블(57)의 송풍용 배관(35A)과, 패럴 측 커넥터(52) 및 유로절곡부재(51) 내의 송풍로를 통하여 패럴부(28)의 홈부(28b)로 공급한다.
Also published as:
SG156214KR1020100014217EP2143995JP2008262911CN101548132CN102446669
CN102522316JP2013258152CN103489746KR1020150056865EP2985526KR1020160090912
IN3700/KOLNP/2009KR1020180033609WO/2008/129932