処理中

しばらくお待ちください...

設定

設定

出願の表示

1. KR1020110083723 - ZnO-Ga2O3계 스퍼터링 타겟용 소결체 및 그 제조 방법

官庁 大韓民国
出願番号 1020117013070
出願日 27.04.2010
公開番号 1020110083723
公開日 20.07.2011
特許番号 1012792770000
特許付与日 26.06.2013
公報種別 B1
IPC
C23C 14/34
C化学;冶金
23金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般
C金属質への被覆;金属材料による材料への被覆;表面への拡散,化学的変換または置換による,金属材料の表面処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法または化学蒸着による被覆一般
14被覆形成材料の真空蒸着,スパッタリングまたはイオン注入法による被覆
22被覆の方法に特徴のあるもの
34スパッタリング
C04B 35/453
C化学;冶金
04セメント;コンクリート;人造石;セラミックス;耐火物
B石灰;マグネシア;スラグ;セメント;その組成物,例.モルタル,コンクリートまたは類似の建築材料;人造石;セラミックス;耐火物;天然石の処理
35組成に特徴を持つ成形セラミック製品;セラミック組成;セラミック製品を製造するための無機化合物粉末の処理
01酸化物を基とするもの
453酸化亜鉛,酸化スズまたは酸化ビスマスまたはそれらと他の酸化物,例.亜鉛酸塩,スズ酸塩またはビスマス酸塩,の固溶体を基とするもの
C04B 35/64
C化学;冶金
04セメント;コンクリート;人造石;セラミックス;耐火物
B石灰;マグネシア;スラグ;セメント;その組成物,例.モルタル,コンクリートまたは類似の建築材料;人造石;セラミックス;耐火物;天然石の処理
35組成に特徴を持つ成形セラミック製品;セラミック組成;セラミック製品を製造するための無機化合物粉末の処理
622製造方法;セラミック製品を製造するための無機化合物粉末の処理方法
64焼成または焼結方法
出願人 가부시키가이샤 아루박
発明者 나가야마, 사츠키
사토노소노, 카오루
代理人 특허법인무한
優先権情報 JP-P-2009-111757 01.05.2009 JP
発明の名称
(KO) ZnO-Ga2O3계 스퍼터링 타겟용 소결체 및 그 제조 방법
要約
(KO)
저항율이 낮고, 결절이나 플레이크의 발생을 억제할 수 있는 ZnO-GaO계 스퍼터링 타겟용 소결체 및 그 제조 방법을 제공한다. 본 발명은, 산화 아연 분말과 산화 갈륨 분말과의 혼합 분말을 성형하는 공정과, 혼합 분말의 성형체를, 소결로(10) 내에 설치되는 용기(20) 안에 수용하는 공정과, 용기(20)의 내부에 산소를 도입하면서 성형체를 1200 ℃ 이상 1500 ℃ 이하의 소결 온도에 승온 시키는 공정과, 용기(20)의 내부에 산소가 도입된 상태로 소결 온도를 보관 유지하는 공정과, 용기(20)의 내부로의 산소의 도입이 정지된 상태로 로 내를 강온시키는 공정을 갖는다. 용기(20)는, 로 내에서 가열되어 성형체의 열분포를 균일화하는 기능을 가지므로, 로 내의 온도 분포에 의한 영향을 배제할 수 있고, 성형체의 균열성을 높일 수 있다. 이에 의해, 저저항으로, 결절의 발생을 억제할 수 있는 GZO 스퍼터링 타겟을 얻을 수 있다. 2 3