(EN) Disclosed is an indium oxide target comprising an oxide sintered body containing indium oxide, and tin if necessary, while containing not less than 0.0001 mole but less than 0.10 mole of an additional element (excluding Ba, Mg and Y), which has an oxygen binding energy of 100-350 kJ/mol, per 1 mole of indium. COPYRIGHT KIPO WIPO 2010
(KO) 산화인듐과 필요에 따라 주석을 함유함과 아울러 산소결합 에너지가 100∼350kJ/mol의 범위에 있는 첨가 원소(단, Ba, Mg, Y를 제외함)를 인듐 1몰에 대하여 0.0001몰 이상 0.10몰 미만 함유하는 산화물 소결체를 구비한다.