(EN) Disclosed is an indium oxide target comprising an oxide sintered body which contains yttrium in addition to indium oxide and tin. This indium oxide target is characterized in that the contents of tin and yttrium are within such a range that the molar ratio y of tin relative to 1 mole of indium is not less than (-2.5 x 10 COPYRIGHT KIPO WIPO 2010
(KO) 산화인듐과 주석을 함유함과 아울러 이트륨을 함유하는 산화물 소결체를 구비하는 산화인듐계 타깃으로서, 주석 및 이트륨의 함유량이 인듐 1몰에 대한 주석의 몰비(y)가 인듐 1몰에 대한 이트륨의 몰비(x)로 표시되는 (-2.5×10Ln(x)-5.8×10)의 값 이상이고 또한(-1.0×10Ln(x)-5.0×10)의 값 이하의 범위에 있다.
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