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1. (JPWO2011122454) ガラス基板の保持用膜体、及びガラス基板の研磨方法

官庁 : 日本
出願番号: 2012508252 出願日: 24.03.2011
公開番号: WO2011122454 公開日: 06.10.2011
特許番号: 5640076 特許付与日: 31.10.2014
公報種別: B2
IPC:
B24B 41/06
B24B 37/30
B24B 7/24
B 処理操作;運輸
24
研削;研磨
B
研削または研磨するための機械,装置,または方法;研削面のドレッシングまたは正常化;研削剤,研磨剤,またはラッピング剤の供給
41
フレーム,ベッド,往復台,主軸台,などの研削機械または装置の構成部分
06
工作物支持具,例.調節可能な支持台
B 処理操作;運輸
24
研削;研磨
B
研削または研磨するための機械,装置,または方法;研削面のドレッシングまたは正常化;研削剤,研磨剤,またはラッピング剤の供給
37
ラッピング機械または装置;附属装置
27
ラッピングキャリア
30
平面の片面ラッピングのためのもの
B 処理操作;運輸
24
研削;研磨
B
研削または研磨するための機械,装置,または方法;研削面のドレッシングまたは正常化;研削剤,研磨剤,またはラッピング剤の供給
7
平担なガラス面の研磨を含む工作物の平面を研削するために設計された機械または装置;そのための附属装置
20
研削されるべき非金属物体の材質の特性に対する特別な設計により特徴づけられるもの
22
無機材料,例.石,セラミック,磁器,を研削するもの
24
ガラスを研削または研磨するもの
出願人: 旭硝子株式会社
富士紡ホールディングス株式会社
発明者: 古田 充
横田 稔
笹森 孝
代理人: 松浦 憲三
優先権情報: 2010077934 30.03.2010 JP
発明の名称: (JA) ガラス基板の保持用膜体、及びガラス基板の研磨方法
要約:
(JA)

本発明は、自己吸着型シート(32)が両面接着シート(34)を介してバックプレートに貼り付けられて構成されるとともに、前記自己吸着型シートにガラス基板が吸着保持されるガラス基板の保持用膜体において、前記両面接着シートは、シート状の基材(38)と該基材の両面に備えられた粘着層(40,42)とから構成され、前記粘着層は、前記基材の同一面内においてそれぞれ所定の隙間(B””,B””)をもって備えられ、前記基材の両面に備えられた粘着層間の隙間が粘着層の積層方向において重ならないガラス基板の保持用膜体に関する。


また、:
CN102844152KR1020130018258WO/2011/122454