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1. JPWO2020196195 - 状態判定装置、状態判定方法及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体
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官庁
日本
出願番号
2021509271
出願日
18.03.2020
公開番号
WO2020196195
公開日
01.10.2020
公報種別
A
CPC
H01L 21/677
H
ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
L
SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21
Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67
Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
677
for conveying, e.g. between different workstations
G05B 23/02
G
PHYSICS
05
CONTROLLING; REGULATING
B
CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
23
Testing or monitoring of control systems or parts thereof
02
Electric testing or monitoring
G01L 5/00
G
PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
L
MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
5
Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes
G05B 19/4155
G
PHYSICS
05
CONTROLLING; REGULATING
B
CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
19
Programme-control systems
02
electric
18
Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
4155
characterised by programme execution, i.e. part programme or machine function execution, e.g. selection of a programme
G05B 2219/45031
G
PHYSICS
05
CONTROLLING; REGULATING
B
CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
2219
Program-control systems
30
Nc systems
45
Nc applications
45031
Manufacturing semiconductor wafers
H01L 21/67276
H
ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
L
SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21
Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67
Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
67005
Apparatus not specifically provided for elsewhere
67242
Apparatus for monitoring, sorting or marking
67276
Production flow monitoring, e.g. for increasing throughput
H01L 21/677
H
ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
L
SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21
Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67
Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
677
for conveying, e.g. between different workstations
G05B 23/02
G
PHYSICS
05
CONTROLLING; REGULATING
B
CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
23
Testing or monitoring of control systems or parts thereof
02
Electric testing or monitoring
G01L 5/00
G
PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
L
MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
5
Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes
G05B 19/4155
G
PHYSICS
05
CONTROLLING; REGULATING
B
CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
19
Programme-control systems
02
electric
18
Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
4155
characterised by programme execution, i.e. part programme or machine function execution, e.g. selection of a programme
G05B 2219/45031
G
PHYSICS
05
CONTROLLING; REGULATING
B
CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
2219
Program-control systems
30
Nc systems
45
Nc applications
45031
Manufacturing semiconductor wafers
H01L 21/67276
H
ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
L
SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21
Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67
Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
67005
Apparatus not specifically provided for elsewhere
67242
Apparatus for monitoring, sorting or marking
67276
Production flow monitoring, e.g. for increasing throughput
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出願人
東京エレクトロン株式会社
発明者
牧 準之輔
豊永 真臣
太田 敦
岡田 基
筒井 拓郎
佐野 圭
矢野 光輝
代理人
長谷川 芳樹
黒木 義樹
柏岡 潤二
松尾 茂樹
中村 真生
優先権情報
2019058391 26.03.2019 JP
発明の名称
(JA)
状態判定装置、状態判定方法及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体
関連特許文献
WO/2020/196195
CN113614664
KR1020210145769
US20220223443