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PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photocathode, an electron tube, and a method for manufacturing the photocathode, capable of improving productivity.
SOLUTION: A photocathode 1 includes: a substrate 100; a photoelectric conversion layer 300 which is provided over the substrate 100 and generates a photoelectron in response to the incidence of light; and a ground layer 200 which is provided between the substrate 100 and the photoelectric conversion layer 300 and contains a nitride of beryllium and an oxide of beryllium. The method for manufacturing the photocathode 1 includes: a first step of preparing the substrate 100; a second step of forming, on the substrate 100, the ground layer 200 that contains a nitride of beryllium and an oxide of beryllium; and a third step of forming, on the ground layer 200, the photoelectric conversion layer 300 generating a photoelectron in response to the incidence of light.
SELECTED DRAWING: Figure 2
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【課題】生産性を向上可能な光電陰極、電子管、及び、光電陰極の製造方法を提供する。【解決手段】光電陰極１は、基板１００と、基板１００上に設けられ、光の入射に応じて光電子を発生させる光電変換層３００と、基板１００と光電変換層３００との間に設けられ、ベリリウムの窒化物及びベリリウムの酸化物を含む下地層２００と、を備える。光電陰極１の製造方法は、基板１００を用意する第１工程と、基板１００上にベリリウムの窒化物及びベリリウムの酸化物を含む下地層２００を形成する第２工程と、下地層２００上に、光の入射に応じて光電子を発生させる光電変換層３００を形成する第３工程と、を備える。【選択図】図２
