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1. JP2020153948 - 微粒子測定システムの洗浄方法及び超純水製造システム

官庁
日本
出願番号 2019055507
出願日 22.03.2019
公開番号 2020153948
公開日 24.09.2020
公報種別 A
IPC
G01N 15/06
G物理学
01測定;試験
N材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
15粒子の特徴の調査;多孔性材料の透過率,気孔量または表面積の調査
06懸濁質の濃度の調査
C02F 1/00
C化学;冶金
02水,廃水,下水または汚泥の処理
F水,廃水,下水または汚泥の処理
1水,廃水または下水の処理
CPC
C02F 1/00
CCHEMISTRY; METALLURGY
02TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
FTREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
1Treatment of water, waste water, or sewage
G01N 15/06
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
15Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume, or surface-area of porous materials
06Investigating concentration of particle suspensions
出願人 NOMURA MICRO SCI CO LTD
野村マイクロ・サイエンス株式会社
発明者 NAGATA SHIORI
永田 しおり
TANJI TERU
丹治 輝
NOGUCHI YUKIO
野口 幸男
代理人 特許業務法人太陽国際特許事務所
発明の名称
(EN) CLEANING METHOD FOR FINE PARTICLE MEASUREMENT SYSTEM AND ULTRAPURE WATER PRODUCTION SYSTEM
(JA) 微粒子測定システムの洗浄方法及び超純水製造システム
要約
(EN)

PROBLEM TO BE SOLVED: To enhance accuracy in measurement of the number of fine particles in water to be treated.

SOLUTION: At a downstream side of a flow direction of ultrapure water than a fine particle measuring device 17 with respect to a fine particle measurement system 3 in which the fine particle measuring device 17 is disposed at measuring piping 15 through which ultrapure water (a sample of water to be treated) flows, the fine particle measurement system 3 is cleaned by setting flow quantity of the ultrapure water to first cleaning flow quantity larger than flow quantity for measuring the number of fine particles.

SELECTED DRAWING: Figure 2

COPYRIGHT: (C)2020,JPO&INPIT


(JA)

【課題】被処理水中の微粒子数の測定における正確性を高める。
【解決手段】超純水(被処理水の一例)が流れる測定用配管15に微粒子測定装置17が設けられた微粒子測定システム3に対し、微粒子測定装置17よりも超純水の流れ方向の下流側で、超純水の流量を、微粒子数の測定用流量よりも多い第一洗浄用流量として微粒子測定システム3を洗浄する。
【選択図】図2


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