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1. JP2020161778 - 検査装置及び検査方法

官庁 日本
出願番号 2019062983
出願日 28.03.2019
公開番号 2020161778
公開日 07.08.2020
特許番号 6746744
特許付与日 07.08.2020
公報種別 B1
IPC
H01L 21/66
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
66製造または処理中の試験または測定
G01N 21/64
G物理学
01測定;試験
N材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
21光学的手段,すなわち,赤外線,可視光線または紫外線を使用することによる材料の調査または分析
62調査される材料が励起され,それにより光を発しまたは入射光の波長に変化を生ずるシステム
63光学的励起
64蛍光;燐光
G01N 21/88
G物理学
01測定;試験
N材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
21光学的手段,すなわち,赤外線,可視光線または紫外線を使用することによる材料の調査または分析
84特殊な応用に特に適合したシステム
88きず,欠陥,または汚れの存在の調査
CPC
G01N 21/64
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible or ultra-violet light
62Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
63optically excited
64Fluorescence; Phosphorescence
G01N 21/88
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible or ultra-violet light
84Systems specially adapted for particular applications
88Investigating the presence of flaws or contamination
出願人 浜松ホトニクス株式会社
発明者 中村 共則
代理人 長谷川 芳樹
黒木 義樹
柴山 健一
内藤 泰史
発明の名称
(JA) 検査装置及び検査方法
要約
(JA)

【課題】フォトルミネッセンスに基づく発光素子の良否判定を高精度に行うこと。
【解決手段】検査装置1は、第1の発光素子及び該第1の発光素子の周辺に配置された第2の発光素子を含む複数の発光素子が形成されたサンプルSを検査する検査装置であって、サンプルSに照射される励起光を生成する励起光源20と、サンプルSからの蛍光を撮像するカメラ70と、カメラ70によって撮像された第1の発光素子からの蛍光及び第2の発光素子からの蛍光に基づいて、第1の発光素子からの蛍光の相対輝度を算出し、第1の発光素子からの蛍光の絶対輝度及び相対輝度に基づく算出値と所定の閾値とを比較することにより、第1の発光素子の良否判定を行う制御装置90の判定部と、を備える。
【選択図】図1

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