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PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photocathode, an electron tube, and a method for manufacturing the photocathode, capable of improving productivity.
SOLUTION: A photocathode 1 includes a substrate 100, a ground layer 200 and a photoelectric conversion layer 300. The photoelectric conversion layer 300 is provided over the substrate 100, and generates a photoelectron e- in response to the incidence of incident light hν. The ground layer is provided between the substrate 100 and the photoelectric conversion layer 300. The ground layer 200 contains beryllium. The ground layer 200 has a first ground layer 210 containing a nitride of beryllium.
SELECTED DRAWING: Figure 2
COPYRIGHT: (C)2021,JPO&INPIT
【課題】生産性を向上可能な光電陰極、電子管、及び、光電陰極の製造方法を提供する。【解決手段】 光電陰極1は、基板100と、下地層200と、光電変換層300と、を備えている。光電変換層300は、基板100上に設けられ、入射光hνの入射に応じて光電子e−を発生させる。下地層は、基板100と光電変換層300との間に設けられている。下地層200は、ベリリウムを含む。下地層200は、ベリリウムの窒化物を含む第1下地層210を有する。【選択図】図2