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1. JP2020096172 - ビスアルキルアミノジシラザン化合物、前記ビスアルキルアミノジシラザン化合物を含むシリコン含有膜形成用の組成物

官庁 日本
出願番号 2019177539
出願日 27.09.2019
公開番号 2020096172
公開日 18.06.2020
公報種別 A
出願人 住友精化株式会社
発明者 小林 晃徳
稲荷森 有輝
山根 達徳
代理人 松谷 道子
言上 惠一
福政 充睦
優先権情報 2018228305 05.12.2018 JP
発明の名称
(JA) ビスアルキルアミノジシラザン化合物、前記ビスアルキルアミノジシラザン化合物を含むシリコン含有膜形成用の組成物
要約
(JA)

【課題】シリコン含有膜の形成において、膜質の低下を招くことなく成膜温度の低温化と成膜速度向上を可能とするシリコン前駆体を提供する。
【解決手段】特定のビスアルキルアミノジシラザン化合物をシリコン前駆体として用いることで、シリコン含有膜の形成において膜質の低下、および分解温度の高温化を招くことなく、成膜速度を向上させる。
【選択図】なし

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