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1. JP2020085766 - 磁気センサおよび磁気センサの製造方法

官庁 日本
出願番号 2018223623
出願日 29.11.2018
公開番号 2020085766
公開日 04.06.2020
公報種別 A
IPC
G01R 33/02
G物理学
01測定;試験
R電気的変量の測定;磁気的変量の測定
33磁気的変量を測定する計器または装置
02磁界または磁束の方向または大きさの測定
H01L 43/00
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
43電流磁気効果またはこれに類似な磁気効果を利用した装置;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
出願人 昭和電工株式会社
発明者 遠藤 大三
篠 竜徳
大橋 栄久
代理人 古部 次郎
加藤 謹矢
発明の名称
(JA) 磁気センサおよび磁気センサの製造方法
要約
(JA)

【課題】感受素子と薄膜磁石との間に絶縁層を有する場合と比較して、磁界の変化量に対するインピーダンスの変化量が大きい磁気センサを提供する。
【解決手段】磁気センサ1は、非磁性の基板10と、基板10上に積層され、軟磁性体で構成され、長手方向と短手方向とを有し、長手方向と交差する方向に一軸磁気異方性を有し、磁気インピーダンス効果により磁界を感受する感受素子31と、基板10上に積層され、感受素子31を挟んで長手方向に対向して配置され、感受素子31の長手方向に磁界を印加する一対の薄膜磁石20a、20bとを備える。
【選択図】図1

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