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1. JP2020086022 - 光配向用露光装置及び光配向用露光方法

官庁 日本
出願番号 2018217153
出願日 20.11.2018
公開番号 2020086022
公開日 04.06.2020
公報種別 A
IPC
G02F 1/1337
G物理学
02光学
F光の強度,色,位相,偏光または方向の制御,例.スイッチング,ゲーテイング,変調または復調のための装置または配置の媒体の光学的性質の変化により,光学的作用が変化する装置または配置;そのための技法または手順;周波数変換;非線形光学;光学的論理素子;光学的アナログ/デジタル変換器
1独立の光源から到達する光の強度,色,位相,偏光または方向の制御のための装置または配置,例.スィッチング,ゲーテイングまたは変調;非線形光学
01強度,位相,偏光または色の制御のためのもの
13液晶に基づいたもの,例.単一の液晶表示セル
133構造配置;液晶セルの作動;回路配置
1333構造配置
1337液晶分子の界面による配向,例.配向層
出願人 株式会社ブイ・テクノロジー
発明者 吉田 祐治
池田 聡
新井 敏成
代理人 特許業務法人 英知国際特許事務所
発明の名称
(JA) 光配向用露光装置及び光配向用露光方法
要約
(JA)

【課題】プレチルト角を安定して出現させることができる斜め露光法を行う光配向露光装置において、省スペース化及び低額化を可能にすると共に、走査露光方式により広い処理面積のワークに対して、効果的な斜め露光を実現できるようにする。
【解決手段】光配向用露光装置は、光配向膜になるワークの表面に偏光光を照射する照射部と、照射部の光照射領域に対して表面を相対的に移動させる走査部とを備え、照射部は、ワークの幅方向に沿って長尺な光源を備え、光照射領域に照射される光の照射角度を幅方向に沿って特定の方向に制限する照射角度制限部材を備える。
【選択図】図1

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