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鉄‐ニッケル系合金製の金属板とガラス基板との間に樹脂層を挟み、樹脂層を介して金属板をガラス基板に接合すること、金属板から複数のマスク孔を含むマスク部を形成すること、マスク部よりも高い剛性を有し、かつ、マスク部が含む複数のマスク孔を囲む枠状を有したマスクフレームに、マスク部のなかで樹脂層に接する面とは反対側の面を接合すること、および、マスク部から、樹脂層およびガラス基板を剥離することを含む。