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1. JP2017003479 - 三次元計測装置

官庁
日本
出願番号 2015118842
出願日 12.06.2015
公開番号 2017003479
公開日 05.01.2017
特許番号 5957575
特許付与日 24.06.2016
公報種別 B1
IPC
G01B 11/25
G物理学
01測定;試験
B長さ,厚さまたは同種の直線寸法の測定;角度の測定;面積の測定;表面または輪郭の不規則性の測定
11光学的手段の使用によって特徴づけられた測定装置
24輪郭または曲率の測定用
25対象物にパターン,例.モアレ縞,を投影することによるもの
G06T 1/00
G物理学
06計算;計数
Tイメージデータ処理または発生一般
1汎用イメージデータ処理
CPC
G01B 11/25
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
24for measuring contours or curvatures
25by projecting a pattern, e.g. ; one or more lines,; moiré fringes on the object
H04N 7/183
HELECTRICITY
04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
7Television systems
18Closed circuit television systems, i.e. systems in which the signal is not broadcast
183for receiving images from a single remote source
G01B 11/0608
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
02for measuring length, width or thickness
06for measuring thickness ; ; e.g. of sheet material
0608Height gauges
G01B 11/2513
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
24for measuring contours or curvatures
25by projecting a pattern, e.g. ; one or more lines,; moiré fringes on the object
2513with several lines being projected in more than one direction, e.g. grids, patterns
H04N 5/2256
HELECTRICITY
04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
5Details of television systems
222Studio circuitry; Studio devices; Studio equipment ; ; Cameras comprising an electronic image sensor, e.g. digital cameras, video cameras, TV cameras, video cameras, camcorders, webcams, camera modules for embedding in other devices, e.g. mobile phones, computers or vehicles
225Television cameras ; ; Cameras comprising an electronic image sensor, e.g. digital cameras, video cameras, camcorders, webcams, camera modules specially adapted for being embedded in other devices, e.g. mobile phones, computers or vehicles
2256provided with illuminating means
出願人 CKD CORP
CKD株式会社
発明者 OYAMA TAKESHI
大山 剛
SAKAIDA NORIHIKO
坂井田 憲彦
MAMIYA TAKAHIRO
間宮 高弘
ISHIGAKI HIROYUKI
石垣 裕之
代理人 川口 光男
発明の名称
(EN) THREE-DIMENSIONAL MEASUREMENT DEVICE
(JA) 三次元計測装置
要約
(EN)

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a three-dimensional measurement device that can achieve a more accurate measurement in shorter time upon implementing a three-dimensional measurement using a phase shift method.

SOLUTION: A substrate inspection device 1 comprises: an illumination device 4 that irradiates a printed substrate 2 with a striped light pattern; a camera 5 that shoots a part having the light pattern on the printed substrate 2 irradiated; and a control device 6 that implements a three-dimensional measurement on the basis of shot image data. The control device 6 is configured to: calculate a first height measurement value on the basis of image data obtained by irradiating a first light pattern of a first cycle at a first position; acquire a gain from the image data and an offset value therefrom; calculate a second height measurement value using the gain and the offset value on the basis of image data obtained by irradiating a second light pattern of a second cycle at a second position obliquely displaced by half a pixel pitch; and acquire height data to be specified from the first measurement value and second measurement value as true height data.

SELECTED DRAWING: Figure 1

COPYRIGHT: (C)2017,JPO&INPIT


(JA)

【課題】位相シフト法を利用した三次元計測を行うにあたり、より高精度な計測をより短時間で実現することのできる三次元計測装置を提供する。
【解決手段】基板検査装置1は、プリント基板2に対し縞状の光パターンを照射する照明装置4と、プリント基板2上の光パターンの照射された部分を撮像するカメラ5と、撮像された画像データに基づき三次元計測を行う制御装置6とを備えている。制御装置6は、第1位置にて第1周期の第1光パターンを照射して得られた画像データを基に第1の高さ計測値を算出すると共に、該画像データからゲイン及びオフセットの値を取得する。また、半画素ピッチ斜めにずれた第2位置にて、第2周期の第2光パターンを照射して得られた画像データを基に、前記ゲイン及びオフセットの値を利用して第2の高さ計測値を算出する。そして、第1の計測値及び第2の計測値から特定される高さデータを、真の高さデータとして取得する。
【選択図】 図1