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1. (JP2008262911) 放電ランプ、接続用ケーブル、光源装置、及び露光装置

官庁 : 日本
出願番号: 2008097607 出願日: 03.04.2008
公開番号: 2008262911 公開日: 30.10.2008
特許番号: 5327423 特許付与日: 02.08.2013
公報種別: B2
IPC:
H01L 21/027
H01J 5/50
G03F 7/20
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
027
その後のフォトリソグラフィック工程のために半導体本体にマスクするもので,グループ21/18または21/34に分類されないもの
H 電気
01
基本的電気素子
J
電子管または放電ランプ
5
電子管または放電ランプの2以上の基本的な型に共通なうつわまたは導入線に関連する細部
50
電気的接続を行うための管またはランプの部分を形成する手段
G 物理学
03
写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ
F
フォトメカニカル法による凹凸化又はパターン化された表面の製造,例.印刷用,半導体装置の製造法用;そのための材料;そのための原稿;そのために特に適合した装置
7
フォトメカニカル法,例.フォトリソグラフ法,による凹凸化又はパターン化された表面,例.印刷表面,の製造;そのための材料,例.フォトレジストからなるもの;そのため特に適合した装置
20
露光;そのための装置
出願人: 株式会社ニコン
発明者: 菊池 孝幸
北野 博
代理人: 大森 聡
優先権情報: 60/907,656 12.04.2007 US
発明の名称: (EN) DISCHARGE LAMP, CONNECTING CABLE, LIGHT-SOURCE DEVICE, AND EXPOSURE DEVICE
(JA) 放電ランプ、接続用ケーブル、光源装置、及び露光装置
要約:
(EN) PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a light-source device that achieves a large cooling action on a base member of a discharge lamp.

SOLUTION: A connector 41 on the side of a power supply 32 and an air blower 34 and a base-side connector 52 of the discharge lamp 1 are connected by a connecting cable 57 in which air-blowing piping 35A is stored in a power cable 33A. Power from the power supply 32 is supplied to a base part 28 via the power cable 33A, the base-side connector 52, and a channel bending member 51 of the connecting cable 57. Cool air from the air blower 34 is supplied to a groove part 28b in the base part 28 via the air-blowing piping 35A of the connecting cable 57, an air-blowing path in the base-side connector 52, and an air-blowing path in the channel bending member 51.

COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT
(JA)

【課題】放電ランプの口金部材に対する冷却作用が大きい光源装置を提供する。
【解決手段】電源32及び送風装置34側のコネクタ41と放電ランプ1の口金側コネクタ52とを、電力ケーブル33A内に送風用配管35Aが収納された連結ケーブル57によって連結する。電源32からの電力を連結ケーブル57の電力ケーブル33A、口金側コネクタ52、及び流路折り曲げ部材51を介して口金部28に供給し、送風装置34からの冷風を連結ケーブル57の送風用配管35Aと、口金側コネクタ52及び流路折り曲げ部材51内の送風路とを介して口金部28の溝部28bに供給する。
【選択図】図5


また、:
SG156214KR1020100014217EP2143995CN101548132CN102446669CN102522316
JP2013258152CN103489746KR1020140141695KR1020150056865EP2985526KR1020160090912
IN3700/KOLNP/2009KR1020180033609WO/2008/129932