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1. (JP2006120675) 照明光学装置、露光装置、および露光方法

官庁 : 日本
出願番号: 2004303902 出願日: 19.10.2004
公開番号: 2006120675 公開日: 11.05.2006
特許番号: 4535260 特許付与日: 01.09.2010
公報種別: B2
IPC:
H01L 21/27
G02B 13/24
[IPC code unknown for H01L 21/27]
G 物理学
02
光学
B
光学要素,光学系,または光学装置
13
以下に詳細に記載される目的のために特に設計された対物レンズ
24
短物体距離にて複製または複写に使用するもの
出願人: NIKON CORP
株式会社ニコン; 東京都千代田区有楽町1丁目12番1号
発明者: SHIGEMATSU KOJI
重松 幸二
優先権情報: 2004303902 19.10.2004 JP
発明の名称: (EN) OPTICAL ILLUMINATION DEVICE, ALIGNER, AND EXPOSURE METHOD
(JA) 照明光学装置、露光装置、および露光方法
要約:
(EN) PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical illumination device for achieving a desired ring band illumination, circular illumination, or the like, without essentially being affected by 0-th order beam from a diffraction optical element.

SOLUTION: The optical illumination device comprises the diffraction optical element 3 for converting luminous flux from a light source 1 to that of a prescribed light intensity distribution; an optical integrator 8, that is arranged between the diffraction optical element and a surface M to be irradiated with a light and forms an essential surface light source on an illumination pupil surface, based on the luminous flux from the diffraction optical element; shaping optical systems 4, 6, 7 that are arranged between the diffraction optical element and the optical integrator and change the size and shape of the essential surface light source; and an obstruction means that is arranged at a position essentially having Fourier Transform relationship with the diffraction optical element in the optical path of the shaping optical system and obstructs the advance of the 0th order light from the diffraction optical element along an illumination optical path.

COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI
(JA)


【課題】 回折光学素子からの0次光の影響を実質的に受けることなく、所望の輪帯照明や円形照明などを実現することのできる照明光学装置。
【解決手段】 光源(1)からの光束を所定の光強度分布の光束に変換する回折光学素子(3)と、回折光学素子と被照射面(M)との間に配置されて回折光学素子からの光束に基づいて照明瞳面に実質的な面光源を形成するオプティカルインテグレータ(8)と、回折光学素子とオプティカルインテグレータとの間に配置されて実質的な面光源の大きさおよび形状を変化させる整形光学系(4,6,7)と、整形光学系の光路中において回折光学素子と実質的にフーリエ変換の関係にある位置に配置されて回折光学素子からの0次光が照明光路に沿って進行するのを阻止する阻止手段とを備えている。
【選択図】 図1


また、:
KR1020070057141EP1811544US20080030852CN101006556WO/2006/043458