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1. (JPWO2015147327) 放電ランプ、放電ランプの製造方法、放電ランプの交換方法及び点灯方法、光源装置、露光装置、並びにデバイス製造方法

官庁 : 日本
出願番号: 2016510584 出願日: 30.03.2015
公開番号: WO2015147327 公開日: 01.10.2015
特許番号: 6332438 特許付与日: 11.05.2018
公報種別: B2
IPC:
H01J 5/50
G03F 7/20
H01J 61/52
H 電気
01
基本的電気素子
J
電子管または放電ランプ
5
電子管または放電ランプの2以上の基本的な型に共通なうつわまたは導入線に関連する細部
50
電気的接続を行うための管またはランプの部分を形成する手段
G 物理学
03
写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ
F
フォトメカニカル法による凹凸化又はパターン化された表面の製造,例.印刷用,半導体装置の製造法用;そのための材料;そのための原稿;そのために特に適合した装置
7
フォトメカニカル法,例.フォトリソグラフ法,による凹凸化又はパターン化された表面,例.印刷表面,の製造;そのための材料,例.フォトレジストからなるもの;そのため特に適合した装置
20
露光;そのための装置
H 電気
01
基本的電気素子
J
電子管または放電ランプ
61
ガス放電または蒸気放電ランプ
02
細部
52
冷却装置;加熱装置;放電空間のガスまたは蒸気を循環させる手段
出願人: 株式会社ニコン
発明者: 青木 保夫
菊池 孝幸
白数 廣
代理人: 永井 冬紀
渡辺 隆男
優先権情報: 2014070609 28.03.2014 JP
発明の名称: (JA) 放電ランプ、放電ランプの製造方法、放電ランプの交換方法及び点灯方法、光源装置、露光装置、並びにデバイス製造方法
要約:
(JA)

陽極及び陰極が内部に設けられたガラス管と、その発光部に対して陽極側及び陰極側にそれぞれ設けられた口金部及びとを有する放電ランプを発光させるための光源装置であって、放電ランプを保管する保管部と、放電ランプの口金部を着脱可能に支持する支持部材と、支持部材に支持された放電ランプの口金部に電力ケーブルを着脱可能に連結するクランプ機構と、支持部材による口金部の支持及びクランプ機構による口金部に対する電力ケーブルの連結が解除されている状態で、口金部を保持して放電ランプを保管部と支持部材との間で搬送するランプ搬送系と、を備える。放電ランプの交換を効率的に行うことができる。


Also published as:
CN106415396KR1020160140760WO/2015/147327