異なる蒸着材料を共蒸着する蒸着装置であって、蒸着対象物が内設されるチャンバと、蒸着対象物に向けて第１蒸着材料の蒸気を吐出する第１蒸着源と、蒸着対象物に向けて第２蒸着材料の蒸気を吐出する第２蒸着源と、第１蒸着材料を加熱する第１加熱部と、第２蒸着材料を加熱する第２加熱部と、第１加熱部及び第２加熱部を制御する加熱制御部とを備え、加熱制御部は、第２蒸着材料の昇温が、第１蒸着材料の昇温よりも所定時間遅く開始されるように第１及び第２加熱部を制御可能に構成されている。