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1. (JPWO2015136857) 蒸着装置及びその制御方法、蒸着装置を用いた蒸着方法、及びデバイスの製造方法

官庁 : 日本
出願番号: 2016507300 出願日: 23.02.2015
公開番号: WO2015136857 公開日: 17.09.2015
特許番号: 6358446 特許付与日: 29.06.2018
公報種別: B2
IPC:
H01L 51/50
C23C 14/24
H05B 33/10
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
51
能動部分として有機材料を用い,または能動部分として有機材料と他の材料との組み合わせを用いる固体装置;このような装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
50
光放出に特に適用されるもの,例.有機発光ダイオード(OLED)または高分子発光ダイオード(PLED)
C 化学;冶金
23
金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般
C
金属質への被覆;金属材料による材料への被覆;表面への拡散,化学的変換または置換による,金属材料の表面処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般
14
被覆形成材料の真空蒸着,スパッタリングまたはイオン注入法による被覆
22
被覆の方法に特徴のあるもの
24
真空蒸着
H 電気
05
他に分類されない電気技術
B
電気加熱;他に分類されない電気照明
33
エレクトロルミネッセンス光源
10
エレクトロルミネッセンス光源の製造に特に適用する装置または方法
出願人: 株式会社JOLED
発明者: 瀧口 明
代理人: 特許業務法人 ナカジマ知的財産綜合事務所
優先権情報: 2014048024 11.03.2014 JP
発明の名称: (JA) 蒸着装置及びその制御方法、蒸着装置を用いた蒸着方法、及びデバイスの製造方法
要約:
(JA)

異なる蒸着材料を共蒸着する蒸着装置であって、蒸着対象物が内設されるチャンバと、蒸着対象物に向けて第1蒸着材料の蒸気を吐出する第1蒸着源と、蒸着対象物に向けて第2蒸着材料の蒸気を吐出する第2蒸着源と、第1蒸着材料を加熱する第1加熱部と、第2蒸着材料を加熱する第2加熱部と、第1加熱部及び第2加熱部を制御する加熱制御部とを備え、加熱制御部は、第2蒸着材料の昇温が、第1蒸着材料の昇温よりも所定時間遅く開始されるように第1及び第2加熱部を制御可能に構成されている。


Also published as:
CN106103790US20170022605US20180298489WO/2015/136857