しばらくお待ちください...
PATENTSCOPE に関してご感想や「ここを改善してほしい」「ここを充実させてほしい」等のご要望がありましたら、是非お聞かせください。
The present invention provides a three-dimensional measurement device capable of carrying out three-dimensional measurement using a phase shift method with higher accuracy and in a shorter period of time. A substrate inspection device 1 is provided with an illumination device 4 for irradiating a striped light pattern onto a printed circuit board 2, a camera 5 for imaging the portion of the printed circuit board 2 irradiated with the light pattern, and a control device 6 for carrying out three-dimensional measurement on the basis of the imaged image data. The control device 6 calculates a first height measurement value on the basis of image data obtained by irradiating a first optical pattern having a first period onto a first position and acquires gain and offset values from the image data. Further, the control device 6 uses the gain and offset values to calculate a second height measurement value on the basis of image data obtained by irradiating a second optical pattern having a second period onto a second position that is diagonally offset by a half-pixel pitch. Height data specified on the basis of the first measurement value and second measurement value is acquired as real height data.
Tujuan dari invensi ini adalah untuk menyediakan peralatan pengukuran tiga dimensi yang memastikan pengukuran yang lebih akurat dalam periode waktu yang lebih singkat dalam pengukuran tiga dimensi dengan menggunakan metode pergeseran fasa. Peralatan inspeksi papan (1) mencakup peranti iluminansi (4) yang konfigurasi untuk mengiradiasi papan rangkaian cetak (2) dengan pola cahaya seperti pinggiran, suatu kamera (5) yang dikonfigurasi untuk mengambil citra dari posisi yang diiradiasi dengan pola cahaya pada papan rangkaian cetak (2), dan peranti kontrol (6) dikonfigurasi untuk melakukan pengukuran tiga-dimensi berdasarkan data citra yang diambil. Peranti kontrol (6) menghitung nilai pengukuran tinggi pertama, berdasarkan data citra yang diambil oleh iradiasi dengan pola cahaya pertama yang memiliki periode pertama pada posisi pertama, dan memperoleh nilai penguatan dan offset dari data citra. Peranti kontrol (6) juga menghitung nilai pengukuran tinggi kedua dengan menggunakan nilai penguatan dan offset, berdasarkan data citra yang diambil oleh iradiasi dengan pola cahaya kedua yang memiliki periode kedua pada posisi kedua yang digeser secara miring oleh nada setengah piksel. Peranti kontrol (6) kemudian memperoleh data ketinggian yang ditentukan dari nilai pengukuran pertama dan nilai pengukuran kedua, sebagai data ketinggian sebenarnya.
