処理中

しばらくお待ちください...

設定

設定

出願の表示

1. ID2018/06299 - THREE-DIMENSIONAL MEASUREMENT DEVICE

官庁
インドネシア
出願番号 PID201708171
出願日 08.01.2016
公開番号 2018/06299
公開日 29.06.2018
公報種別 A
IPC
G01B 11/25
G物理学
01測定;試験
B長さ,厚さまたは同種の直線寸法の測定;角度の測定;面積の測定;表面または輪郭の不規則性の測定
11光学的手段の使用によって特徴づけられた測定装置
24輪郭または曲率の測定用
25対象物にパターン,例.モアレ縞,を投影することによるもの
G06T 1/00
G物理学
06計算;計数
Tイメージデータ処理または発生一般
1汎用イメージデータ処理
出願人 CKD CORPORATION
発明者 OHYAMA Tsuyoshi
SAKAIDA Norihiko
MAMIYA Takahiro
ISHIGAKI Hiroyuki
代理人 Annisa Am Badar, S.H, LLM
優先権情報 2015118842 12.06.2015 JP
発明の名称
(EN) THREE-DIMENSIONAL MEASUREMENT DEVICE
(ID) PERALATAN PENGUKURAN TIGA DIMENSI
要約
(EN)

The present invention provides a three-dimensional measurement device capable of carrying out three-dimensional measurement using a phase shift method with higher accuracy and in a shorter period of time. A substrate inspection device 1 is provided with an illumination device 4 for irradiating a striped light pattern onto a printed circuit board 2, a camera 5 for imaging the portion of the printed circuit board 2 irradiated with the light pattern, and a control device 6 for carrying out three-dimensional measurement on the basis of the imaged image data. The control device 6 calculates a first height measurement value on the basis of image data obtained by irradiating a first optical pattern having a first period onto a first position and acquires gain and offset values from the image data. Further, the control device 6 uses the gain and offset values to calculate a second height measurement value on the basis of image data obtained by irradiating a second optical pattern having a second period onto a second position that is diagonally offset by a half-pixel pitch. Height data specified on the basis of the first measurement value and second measurement value is acquired as real height data.


(ID)

Tujuan dari invensi ini adalah untuk menyediakan peralatan pengukuran tiga dimensi yang memastikan pengukuran yang lebih akurat dalam periode waktu yang lebih singkat dalam pengukuran tiga dimensi dengan menggunakan metode pergeseran fasa. Peralatan inspeksi papan (1) mencakup peranti iluminansi (4) yang konfigurasi untuk mengiradiasi papan rangkaian cetak (2) dengan pola cahaya seperti pinggiran, suatu kamera (5) yang dikonfigurasi untuk mengambil citra dari posisi yang diiradiasi dengan pola cahaya pada papan rangkaian cetak (2), dan peranti kontrol (6) dikonfigurasi untuk melakukan pengukuran tiga-dimensi berdasarkan data citra yang diambil. Peranti kontrol (6) menghitung nilai pengukuran tinggi pertama, berdasarkan data citra yang diambil oleh iradiasi dengan pola cahaya pertama yang memiliki periode pertama pada posisi pertama, dan memperoleh nilai penguatan dan offset dari data citra. Peranti kontrol (6) juga menghitung nilai pengukuran tinggi kedua dengan menggunakan nilai penguatan dan offset, berdasarkan data citra yang diambil oleh iradiasi dengan pola cahaya kedua yang memiliki periode kedua pada posisi kedua yang digeser secara miring oleh nada setengah piksel. Peranti kontrol (6) kemudian memperoleh data ketinggian yang ditentukan dari nilai pengukuran pertama dan nilai pengukuran kedua, sebagai data ketinggian sebenarnya.