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1. (EP2314734) Method of producing porous metal oxide films using template assisted electrostatic spray deposition

官庁 : 欧州特許庁(EPO)
出願番号: 09173505 出願日: 20.10.2009
公開番号: 2314734 公開日: 27.04.2011
公報種別: A1
IPC:
C23C 18/12
C 化学;冶金
23
金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般
C
金属質への被覆;金属材料による材料への被覆;表面への拡散,化学的変換または置換による,金属材料の表面処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般
18
液状化合物または溶液のいずれかからなる被覆形成化合物の分解による化学的被覆であって表面材料の反応生成物を被覆層中に残さないもの;接触メッキ
02
熱分解によるもの
12
金属質材料以外の無機質材料の析出に特徴のあるもの
CPC:
C23C 18/1216
C23C 18/1241
C23C 18/1254
C23C 18/1279
C23C 18/1283
Y10T 428/24997
出願人: UNIV BERLIN TECH
発明者: PAUL BENJAMIN
SOKOLOV SERGEY
KRAEHNERT RALPH
優先権情報: 09173505 20.10.2009 EP
発明の名称: (DE) Verfahren zur Herstellung poröser Metalloxidfilmen mittels vorlagenunterstützter elektrostatischer Sprayablagerung
(EN) Method of producing porous metal oxide films using template assisted electrostatic spray deposition
(FR) Procédé de production de films à oxyde métallique poreux utilisant un dépôt de pulvérisation électrostatique assisté
要約: front page image
(EN) The present invention relates to a method of producing porous metal oxide films on a substrate using template assisted electrostatic spray deposition (ESD). Thereby it is possible to produce both mesoporous and macroporous films which have a predefined pore morphology. In addition hierarchically structured meso- and macroporous films can be produced. The present invention also concerns the produced porous films and their use in catalysis, power storage, sensing and compound separation.