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1. (EP2985526) DISCHARGE LAMP, LIGHT SOURCE APPARATUS, AND EXPOSURE APPARATUS

官庁 : 欧州特許庁(EPO)
出願番号: 15165878 出願日: 03.04.2008
公開番号: 2985526 公開日: 17.02.2016
公報種別: B1
指定国: AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LI, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR
PCT 関連事項: 出願番号:JP2008056719 ; 公開番号: クリックしてデータを表示
IPC:
F21V 29/00
F21Y 101/00
H01J 5/50
H01J 61/52
H01L 21/027
F 機械工学;照明;加熱;武器;爆破
21
照明
V
他に分類されない,照明装置またはそのシステムの機能的特徴あるいは細部;照明装置とその他の物品との構造的な組み合わせ
29
冷却または加熱手段
F 機械工学;照明;加熱;武器;爆破
21
照明
Y
光源の形状に関連して,サブクラスF21L,F21S,およびF21Vに関連する光源の形状についてのインデキシング系列
101
点状光源
H 電気
01
基本的電気素子
J
電子管または放電ランプ
5
電子管または放電ランプの2以上の基本的な型に共通なうつわまたは導入線に関連する細部
50
電気的接続を行うための管またはランプの部分を形成する手段
H 電気
01
基本的電気素子
J
電子管または放電ランプ
61
ガス放電または蒸気放電ランプ
02
細部
52
冷却装置;加熱装置;放電空間のガスまたは蒸気を循環させる手段
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
027
その後のフォトリソグラフィック工程のために半導体本体にマスクするもので,グループ21/18または21/34に分類されないもの
CPC:
H01J 5/54
H01J 5/62
H01J 61/523
F21V 29/00
F21V 29/56
H01J 5/50
出願人: NIKON CORP
発明者: KIKUCHI TAKAYUKI
KITANO HIROSHI
優先権情報: 08739826 03.04.2008 EP
2008056719 03.04.2008 JP
90765607 12.04.2007 US
発明の名称: (DE) ENTLADUNGSLAMPE, LICHTQUELLENVORRICHTUNG UND BELICHTUNGSVORRICHTUNG
(EN) DISCHARGE LAMP, LIGHT SOURCE APPARATUS, AND EXPOSURE APPARATUS
(FR) LAMPE À DÉCHARGE, APPAREIL DE SOURCE DE LUMIÈRE ET APPAREIL D'EXPOSITION
要約: front page image
(EN) A light source device having a large cooling action on the base member of a discharge lamp. A connector (41) on the sides of the power supply (32) and the air blower (34) and the base-side connector (52) of a discharge lamp (1) are connected to each other through a connection cable (57) having a power cable (33A) in which an air blow pipe (35A) is contained. An electric power is supplied from the power supply (32) to a base part (28) through the power cable (33A) of the connection cable (57), the base-side connector (52) and a flow passage bending member (51). The cool air from the air blower (34) is supplied to the groove part (28b) of the base part (28) through the air blow pipe (35A) of the connection cable (57), the base-side connector (52) and an air blow passage in the flow passage-bending member (51).
(FR) Dispositif de source de lumière exerçant une action de refroidissement importante sur la capsule de contact d'une lampe à décharge. Un connecteur (41) sur les côtés de l'alimentation électrique (32) et de la souffleuse d'air (34) et le connecteur (52) côté capsule de contact d'une lampe à décharge (1) sont reliés l'un à l'autre par l'intermédiaire d'un câble de branchement (57) possédant un câble électrique (33A) contenant un tuyau souffleur d'air (35A). La capsule de contact (28) est alimentée en courant électrique (32) depuis l'alimentation électrique (32) par l'intermédiaire du câble électrique (33A) du câble de branchement (57), du connecteur (52) et d'un élément (51) incurvant le passage d'écoulement. La partie gorge (28b) de la capsule de contact (28) est alimentée en air frais depuis la souffleuse d'air (34) par l'intermédiaire du tuyau souffleur d'air (35A) du câble de branchement (57), du connecteur (52) côté capsule de contact et d'un passage d'air pratiqué dans l'élément (51) incurvant le passage d'écoulement.
また、:
SG156214KR1020100014217EP2143995JP2008262911CN101548132CN102446669
CN102522316JP2013258152CN103489746KR1020140141695KR1020150056865KR1020160090912
IN3700/KOLNP/2009KR1020180033609WO/2008/129932