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1. (EP1811544) LIGHTING OPTICAL DEVICE, EXPOSURE SYSTEM, AND EXPOSURE METHOD

官庁 : 欧州特許庁(EPO)
出願番号: 05793150 出願日: 12.10.2005
公開番号: 1811544 公開日: 25.07.2007
公報種別: A4
指定国: AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LI, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR
PCT 関連事項: 出願番号:JP2005018809 ; 公開番号: クリックしてデータを表示
IPC:
H01L 21/027
G02B 13/24
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
027
その後のフォトリソグラフィック工程のために半導体本体にマスクするもので,グループ21/18または21/34に分類されないもの
G 物理学
02
光学
B
光学要素,光学系,または光学装置
13
以下に詳細に記載される目的のために特に設計された対物レンズ
24
短物体距離にて複製または複写に使用するもの
CPC:
G02B 27/46
G02B 5/001
G03F 7/70075
G03F 7/70108
G03F 7/70158
G03F 7/70191
出願人: NIKON CORP
発明者: SHIGEMATSU KOJI
優先権情報: 2004303902 19.10.2004 JP
2005018809 12.10.2005 JP
発明の名称: (DE) OPTISCHE BELEUCHTUNGSEINRICHTUNG, BELICHTUNGSSYSTEM UND BELICHTUNGSVERFAHREN
(EN) LIGHTING OPTICAL DEVICE, EXPOSURE SYSTEM, AND EXPOSURE METHOD
(FR) DISPOSITIF D'ECLAIRAGE OPTIQUE, SYSTEME D'EXPOSITION ET PROCEDE D' EXPOSITION
要約: front page image
(EN) An illumination optical apparatus is able to accomplish desired annular illumination, circular illumination, and so on, without substantial influence of the zero-order light from a diffractive optical element. The illumination optical apparatus comprises a diffractive optical element (3) which converts a light beam from a light source (1) into a light beam with a predetermined light intensity distribution; an optical integrator (8) disposed between the diffractive optical element and a surface to be illuminated (M) and adapted for forming a substantial surface illuminant on an illumination pupil plane on the basis of the light beam from the diffractive optical element; a shaping optical system (4, 6, 7) disposed between the diffractive optical element and the optical integrator and adapted for changing a size and shape of the substantial surface illuminant; and a preventing device disposed at a position substantially in the relation of Fourier transform with the diffractive optical element in an optical path of the shaping optical system, and adapted for preventing the zero-order light from the diffractive optical element from traveling along an illumination light path.
(FR) L’invention concerne un dispositif d’éclairage optique permettant de réaliser l’éclairage zonal souhaité ou l’éclairage circulaire sans être sensiblement affecté par une lumière d’ordre zéro à partir d’un élément de diffraction optique. Le dispositif comprend un élément de diffraction optique (3) pour convertir un faisceau lumineux d’une source lumineuse (1) en un faisceau lumineux avec une distribution d’intensité lumineuse spécifiée, un intégrateur optique (8) placé entre l’élément de diffraction optique et une surface (M) à irradier pour former une surface substantielle lumineuse sur une surface d’élément d’éclairage basée sur un faisceau lumineux de l’élément optique de diffraction, des systèmes de dépointage optique (4, 6, 7) placés entre l’élément optique de diffraction et l’intégrateur optique pour modifier la taille et la forme de la surface substantielle lumineuse, ainsi que des moyens de blocage disposés sur le parcours lumineux du système de dépointage optique, à une position se trouvant sensiblement dans une relation de transformation de Fourier avec l’élément de diffraction optique pour bloquer la lumière d’ordre zéro de l’élément de diffraction optique contre l’avancement le long d’un parcours lumineux d’éclairage.
また、:
KR1020070057141JP2006120675US20080030852CN101006556WO/2006/043458