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1. (DE112018000035) Verfahren zur Qualitätsbewertung eines SiC-Einkristallkörpers und Verfahren zur Herstellung eines Siliziumkarbid-Einkristallblocks unter Verwendung desselben

公開された出願
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DE112018000035T5DE20190228XML, PDF, ZIP(XML + TIFFs)