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1. (CN102844152) Glass substrate holding film body, and glass substrate polishing method

官庁 : 中華人民共和国
出願番号: 201180017104.8 出願日: 24.03.2011
公開番号: 102844152 公開日: 26.12.2012
特許番号: 102844152 特許付与日: 09.09.2015
公報種別: B
PCT 関連事項: 出願番号:PCTJP2011057256 ; 公開番号:2011122454 クリックしてデータを表示
IPC:
B24B 37/27
B 処理操作;運輸
24
研削;研磨
B
研削または研磨するための機械,装置,または方法;研削面のドレッシングまたは正常化;研削剤,研磨剤,またはラッピング剤の供給
37
ラッピング機械または装置;附属装置
27
ラッピングキャリア
CPC:
B24B 37/27
C09J 7/22
C09J 7/38
C09J 2201/128
出願人: 旭硝子株式会社
富士纺控股株式会社
発明者: 古田充
横田稔
笹森孝
代理人: 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219
中原信达知识产权代理有限责任公司 11219
優先権情報: 2010-077934 30.03.2010 JP
発明の名称: (EN) Glass substrate holding film body, and glass substrate polishing method
(ZH) 玻璃基板保持用膜体及玻璃基板的研磨方法
要約: front page image
(EN) Disclosed is a glass substrate holding film body such that in terms of configuration, a self-adsorption type sheet (32) is bonded to a back plate with a double-faced adhesive sheet (34) therebetween, and that a glass substrate is held by being adsorbed on the self-adsorption type sheet. The double-faced adhesive sheet is composed of a piece of sheet-like base material (38) and adhesive layers (40, 42) provided on both surfaces of the base material. The adhesive layers are provided in such a way that predetermined gaps are formed, respectively, in the same plane of the base material. The gaps provided on both surfaces of the base material do not overlap each other in the lamination direction of the adhesive layers.
また、:
JPWO2011122454KR1020130018258WO/2011/122454