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1. (CN101548132) Discharge lamp, cable for connection, light source device, and exposure device

官庁 : 中華人民共和国
出願番号: 200880000911.7 出願日: 03.04.2008
公開番号: 101548132 公開日: 30.09.2009
特許番号: 101548132 特許付与日: 11.09.2013
公報種別: B
PCT 関連事項: 出願番号:PCTJP2008056719 ; 公開番号:2008129932 クリックしてデータを表示
IPC:
F21V 29/00
H01L 21/027
H01J 5/50
H01J 61/52
F21Y 101/00
F 機械工学;照明;加熱;武器;爆破
21
照明
V
他に分類されない,照明装置またはそのシステムの機能的特徴あるいは細部;照明装置とその他の物品との構造的な組み合わせ
29
冷却または加熱手段
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
027
その後のフォトリソグラフィック工程のために半導体本体にマスクするもので,グループ21/18または21/34に分類されないもの
H 電気
01
基本的電気素子
J
電子管または放電ランプ
5
電子管または放電ランプの2以上の基本的な型に共通なうつわまたは導入線に関連する細部
50
電気的接続を行うための管またはランプの部分を形成する手段
H 電気
01
基本的電気素子
J
電子管または放電ランプ
61
ガス放電または蒸気放電ランプ
02
細部
52
冷却装置;加熱装置;放電空間のガスまたは蒸気を循環させる手段
F 機械工学;照明;加熱;武器;爆破
21
照明
Y
光源の形状に関連して,サブクラスF21L,F21S,およびF21Vに関連する光源の形状についてのインデキシング系列
101
点状光源
CPC:
H01J 5/54
H01J 5/62
H01J 61/523
F21V 29/00
F21V 29/56
H01J 5/50
出願人: 株式会社尼康
発明者: 菊池孝幸
北野博
代理人: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
優先権情報: 60/907,656 12.04.2007 US
発明の名称: (EN) Discharge lamp, cable for connection, light source device, and exposure device
(ZH) 放电灯、连接用线缆、光源装置及曝光装置
要約: front page image
(EN) A light source device having a large cooling action on the ferrule member of a discharge lamp. A connector (41) on the sides of the power supply (32) and the air blower (34) and the ferrule side connector (52) of a discharge lamp (1) are connected to each other through a connection cable (57) having a power cable (33A) in which an air blow pipe (35A) is contained. An electric power is supplied from the power supply (32) to a ferrule part (28) through the power cable (33A) of the connection cable (57), the ferrule side connector (52) and a flow passage-bending member (51). The cool air from the air blower (34)is supplied to the groove part (28b) of the ferrule part (28) through the air blow pipe (35A) of the connection cable (57), the ferrule side connector (52) and an air blow passage in the flow passage-bending member (51).
(ZH)

本发明提供一种对放电灯的灯头构件的冷却作用大的光源装置。将电源(32)及送风装置(34)侧的连接器(41)与放电灯(1)的灯头侧连接器(52)利用在电力线缆(33A)内收纳送风用配管(35A)的连结线缆(57)连结。将来自电源(32)的电力经由连结线缆(57)的电力线缆(33A)、灯头侧连接器(52)以及流路折曲构件(51)向灯头部(28)供应,将来自送风装置(28)的冷风经由连结线缆(57)的送风用配管(35A)、灯头侧连接器(52)及流路折曲构件(51)内的送风路向灯头部(28)的槽部(28b)供应。


また、:
SG156214KR1020100014217EP2143995JP2008262911CN102446669CN102522316
JP2013258152CN103489746KR1020140141695KR1020150056865EP2985526KR1020160090912
IN3700/KOLNP/2009KR1020180033609WO/2008/129932