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1. CN101438384 - Server and program

官庁 中華人民共和国
出願番号 200780016476.2
出願日 24.04.2007
公開番号 101438384
公開日 20.05.2009
特許番号 101438384
特許付与日 13.04.2011
公報種別 B
IPC
H01L 21/02
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02半導体装置またはその部品の製造または処理
G05B 19/418
G物理学
05制御;調整
B制御系または調整系一般;このような系の機能要素;このような系または要素の監視または試験装置
19プログラム制御系
02電気式
418総合的工場管理,すなわち,複数の機械の集中管理,例.直接または分散数値制御(DNC),フレキシブルマニュファクチャリングシステム(FMS),インテグレーテッドマニュファクチャリングシステム(IMS),コンピュータインテグレーテッドマニュファクチャリング(CIM)
G05B 23/02
G物理学
05制御;調整
B制御系または調整系一般;このような系の機能要素;このような系または要素の監視または試験装置
23制御系またはその一部の試験または監視
02電気式試験または監視
G06Q 50/00
G物理学
06計算;計数
Q管理目的,商用目的,金融目的,経営目的,監督目的または予測目的に特に適合したデータ処理システムまたは方法;他に分類されない,管理目的,商用目的,金融目的,経営目的,監督目的または予測目的に特に適合したシステムまたは方法
50特定の業種に特に適合したシステムまたは方法,例.公益事業または観光業
H01L 21/205
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02半導体装置またはその部品の製造または処理
04少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
18不純物,例.ドーピング材料,を含むまたは含まない周期表第IV族の元素またはA↓I↓I↓IB↓V化合物から成る半導体本体を有する装置
20基板上への半導体材料の析出,例.エピタキシャル成長
205固体を析出させるガス状化合物の還元または分解を用いるもの,すなわち化学的析出を用いるもの
H01L 21/3065
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02半導体装置またはその部品の製造または処理
04少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
18不純物,例.ドーピング材料,を含むまたは含まない周期表第IV族の元素またはA↓I↓I↓IB↓V化合物から成る半導体本体を有する装置
30H01L21/20~H01L21/26に分類されない方法または装置を用いる半導体本体の処理
302表面の物理的性質または形状を変換するため,例.エッチング,ポリシング,切断
306化学的または電気的処理,例.電解エッチング
3065プラズマエッチング;反応性イオンエッチング
CPC
G05B 19/41875
GPHYSICS
05CONTROLLING; REGULATING
BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
19Programme-control systems
02electric
418Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS], computer integrated manufacturing [CIM]
41875characterised by quality surveillance of production
G05B 2219/31331
GPHYSICS
05CONTROLLING; REGULATING
BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
2219Program-control systems
30Nc systems
31From computer integrated manufacturing till monitoring
31331Select manufacturing information by entering product number
G05B 2219/31432
GPHYSICS
05CONTROLLING; REGULATING
BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
2219Program-control systems
30Nc systems
31From computer integrated manufacturing till monitoring
31432Keep track of conveyed workpiece, batch, tool, conditions of stations, cells
G05B 2219/32179
GPHYSICS
05CONTROLLING; REGULATING
BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
2219Program-control systems
30Nc systems
32Operator till task planning
32179Quality control, monitor production tool with multiple sensors
G05B 2219/45031
GPHYSICS
05CONTROLLING; REGULATING
BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
2219Program-control systems
30Nc systems
45Nc applications
45031Manufacturing semiconductor wafers
G06Q 10/06
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
QDATA PROCESSING SYSTEMS OR METHODS, SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL, SUPERVISORY OR FORECASTING PURPOSES; SYSTEMS OR METHODS SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL, SUPERVISORY OR FORECASTING PURPOSES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
10Administration; Management
06Resources, workflows, human or project management, e.g. organising, planning, scheduling or allocating time, human or machine resources; Enterprise planning; Organisational models
出願人 Tokyo Electron Ltd.
东京毅力科创株式会社
発明者 Inokawa Takumi
猪川匠
Koyama Noriaki
小山典昭
代理人 gao shaowei li wei
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
優先権情報 2006129729 09.05.2006 JP
発明の名称
(EN) Server and program
(ZH) 服务器装置及程序
要約
(EN)
Conventionally, it has been impossible to compose a chart by filtering measurement information using a product wafer number. [Means for Solving the Problems] It is possible to compose a chart by filtering measurement information using a product wafer number in a server device including: an instruction receiving unit for storing therein plural measurement information, which is time sequential information measured in a plurality of manufacturing apparatuses and has a product wafer number and time information, and for receiving an output instruction of a chart containing the product wafer number; a fault detection unit for, when the instruction receiving unit receives the output instruction, reading a multiplicity of measurement information satisfying a product wafer number condition contained in the output instruction, and determining whether the read multiplicity of measurement information satisfies the condition information; an output information composing unit for composing the output information according to a determination result of the fault detection unit; and an output unit for outputting the output information composed by the output information composing unit.

(ZH)

以往,无法过滤利用产品晶片片数测定的信息来构成图表。利用本发明的服务器装置,可过滤用产品晶片片数测定的信息来构成图表,该服务器装置保存有多个测定信息,该测定信息是关于由多个制造装置测定的信息的时间系列信息,是具有产品晶片片数和时刻信息的信息,其具备:指示接收部,接收包括产品晶片片数的图表的输出指示;异常检测部,在指示接收部接收到输出指示的情况下,读出符合该输出指示所包含的产品晶片片数条件的多个测定信息,判断所读出的该多个测定信息是否符合条件信息;输出信息构成部,构成与异常检测部的判断结果对应的输出信息;输出部,输出所述输出信息构成部所构成的输出信息。