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1. (CN101006556) Lighting optical device, exposure system, and exposure method

官庁 : 中華人民共和国
出願番号: 200580028180.3 出願日: 12.10.2005
公開番号: 101006556 公開日: 25.07.2007
特許番号: 100536071 特許付与日: 02.09.2009
公報種別: C
PCT 関連事項: 出願番号:PCTJP2005018809 ; 公開番号:2006043458 クリックしてデータを表示
IPC:
H01L 21/027
G02B 13/24
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
027
その後のフォトリソグラフィック工程のために半導体本体にマスクするもので,グループ21/18または21/34に分類されないもの
G 物理学
02
光学
B
光学要素,光学系,または光学装置
13
以下に詳細に記載される目的のために特に設計された対物レンズ
24
短物体距離にて複製または複写に使用するもの
出願人: Nippon Kogaku KK
株式会社尼康
発明者: Shigematsu Koji
重松幸二
代理人: luoyun po xuqian
北京集佳知识产权代理有限公司
北京集佳知识产权代理有限公司
優先権情報: 2004303902 19.10.2004 JP
発明の名称: (EN) Lighting optical device, exposure system, and exposure method
(ZH) 照明光学装置、曝光装置和曝光方法
要約: front page image
(EN) The present invention provides a lighting optical device capable of realizing desired zonal lighting or circular lighting without substantially being affected by a zero-order light from a diffraction optical element. The device comprises a diffraction optical element (3) for converting a light beam from a light source (1) into a light beam with a specified light intensity distribution, an optical integrator (8) disposed between the diffraction optical element and a surface (M) to be irradiated to form a substantial surface illuminant on a lighting pupil surface based on a light beam from the diffraction optical element, shaping optical systems (4, 6, 7) disposed between the diffraction optical element and the optical integrator to vary the size and the shape of the substantial surface illuminant, and a blocking means disposed, on the light path of the shaping optical system, at a position in substantially Fourier transform relation with the diffraction optical element to block zero-order light from the diffraction optical element against advancing along a lighting light path.
(ZH)

本发明提供一种可以实现所需的环形照明或圆形照明等而实质上不受来自衍射光学元件的0次光的影响的照明光学装置。该照明光学装置具备:用于将来自光源(1)的光束转换为规定的光强度分布的光束的衍射光学元件(3);配置于衍射光学元件与被照射面(M)之间的光路中、基于来自衍射光学元件的光束在照明光瞳面上形成实质上的面光源的光学积分器(8);配置于衍射光学元件与光学积分器之间的光路中、用于改变实质上的面光源的大小及形状的整形光学系统(4、6、7);以及在整型光学系统的光路中配置于与衍射光学元件实质上具有傅立叶变换关系的位置、用于阻止来自衍射光学元件的0次光沿着照明光路行进的阻止机构。


また、:
KR1020070057141EP1811544JP2006120675US20080030852WO/2006/043458