このアプリケーションの一部のコンテンツは現時点では利用できません。
このような状況が続く場合は、にお問い合わせくださいフィードバック & お問い合わせ
1. (CN109792004) METHODS OF HANDLING A MASK DEVICE, APPARATUS FOR EXCHANGING A MASK DEVICE, MASK EXCHANGE CHAMBER, AND VACUUM SYSTEM

官庁 : 中華人民共和国
出願番号: 201780036547.9 出願日: 05.09.2017
公開番号: 109792004 公開日: 21.05.2019
公報種別: A
PCT 関連事項: 出願番号:PCTUS2017050129 ; 公開番号: クリックしてデータを表示
IPC:
H01L 51/56
H01L 51/00
H01L 21/67
H01L 21/033
G03F 7/20
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
51
能動部分として有機材料を用い,または能動部分として有機材料と他の材料との組み合わせを用いる固体装置;このような装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
50
光放出に特に適用されるもの,例.有機発光ダイオード(OLED)または高分子発光ダイオード(PLED)
56
このような装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
51
能動部分として有機材料を用い,または能動部分として有機材料と他の材料との組み合わせを用いる固体装置;このような装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
027
その後のフォトリソグラフィック工程のために半導体本体にマスクするもので,グループ21/18または21/34に分類されないもの
033
無機物層からなるもの
G 物理学
03
写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ
F
フォトメカニカル法による凹凸化又はパターン化された表面の製造,例.印刷用,半導体装置の製造法用;そのための材料;そのための原稿;そのために特に適合した装置
7
フォトメカニカル法,例.フォトリソグラフ法,による凹凸化又はパターン化された表面,例.印刷表面,の製造;そのための材料,例.フォトレジストからなるもの;そのため特に適合した装置
20
露光;そのための装置
出願人: APPLIED MATERIALS INC
应用材料公司
発明者: GOVINDASAMY SATHIYAMURTHI
萨伊亚穆图西·哥文达萨米
KLEIN WOLFGANG
沃尔夫冈·克莱因
SALUGU SRINIVAS
斯里尼瓦斯·萨鲁古
SAUER ANDREAS
安德烈亚斯·索尔
ZANG SEBASTIAN GUNTHER
塞巴斯蒂安·巩特尔·臧
代理人: 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006
北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006
優先権情報:
発明の名称: (EN) METHODS OF HANDLING A MASK DEVICE, APPARATUS FOR EXCHANGING A MASK DEVICE, MASK EXCHANGE CHAMBER, AND VACUUM SYSTEM
(ZH) 搬运掩模器件的方法、用于更换掩模器件的设备、掩模更换腔室以及真空系统
要約: front page image
(EN) Method of handling a mask device are described. According to m embodiment, the method includes: Loading the mask device on a holding arrangement for holding the mask device; moving the holding arrangement from a first state into a second state, the second slate being a non-horizontal state; aligning the holding- arrangement with a mask carrier; and transferring the mask device from the holding arrangement to the mask earner. Further, an apparatus for exchanging a mask device from a mask carrier as well as a vacuum system including such an apparatus are described.
(ZH) 描述一种搬运掩模器件的方法。根据实施方式,所述方法包括:将所述掩模器件装载在用于保持掩模器件的保持布置上;将所述保持布置从第一状态移动到第二状态,所述第二状态为非水平状态;使所述保持布置与掩模载体对准;以及将所述掩模器件从所述保持布置传送到所述掩模载体。另外,描述一种用于从掩模载体更换掩模器件的设备以及一种包括这种设备的真空系统。
また、:
WO/2019/050507