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1. (CN105209405) 氧化物烧结体和包含该氧化物烧结体的溅射靶

官庁 : 中華人民共和国
出願番号: 112015000000713 出願日: 22.01.2015
公開番号: 105209405 公開日: 11.07.2017
特許番号: 105209405 特許付与日: 11.07.2017
公報種別: B
(国内移行後) 元 PCT 国際出願 出願番号:PCTJP2015051606 ; 公開番号: クリックしてデータを表示
IPC:
C04B 35/00
C23C 14/34
C 化学;冶金
04
セメント;コンクリート;人造石;セラミックス;耐火物
B
石灰;マグネシア;スラグ;セメント;その組成物,例.モルタル,コンクリートまたは類似の建築材料;人造石;セラミックス;耐火物;天然石の処理
35
組成に特徴を持つ成形セラミック製品;セラミック組成;セラミック製品を製造するための無機化合物粉末の処理
C 化学;冶金
23
金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般
C
金属質への被覆;金属材料による材料への被覆;表面への拡散,化学的変換または置換による,金属材料の表面処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般
14
被覆形成材料の真空蒸着,スパッタリングまたはイオン注入法による被覆
22
被覆の方法に特徴のあるもの
34
スパッタリング
CPC:
C23C 14/3414
C04B 35/453
C04B 2235/3286
C04B 2235/6567
C04B 2235/6583
C04B 2235/77
C04B 2235/786
C04B 2235/80
C23C 14/08
出願人: 吉坤日矿日石金属株式会社
発明者: 角田浩二
长田幸三
代理人: 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219
中原信达知识产权代理有限责任公司 11219
優先権情報: 2014-068969 28.03.2014 JP
発明の名称: (ZH) 氧化物烧结体和包含该氧化物烧结体的溅射靶
要約: front page image
(ZH) 一种氧化物烧结体,其为包含铟(In)、镓(Ga)、锌(Zn)、氧(O)和不可避免的杂质的氧化物烧结体,其特征在于,所述氧化物烧结体具有以In、Ga和Zn的原子比计In:Ga:Zn=1:1:1的IGZO(111)相和比IGZO(111)相含有更多Zn的IGZO相;比IGZO(111)相含有更多Zn的IGZO相的面积比率为1~10%;该氧化物烧结体的In、Ga和Zn的原子数比为In:Ga:Zn=1:1:(1.02~1.10)。本发明的课题在于提供可以降低为了得到具有所期望的载流子浓度的膜而需要的溅射时的氧浓度的IGZO氧化物烧结体。
Also published as:
KR1020150125726WO/2015/146252