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1. (WO2008121628) APPARATUS AND METHODS FOR SYSTEMATIC NON-UNIFORMITY CORRECTION USING A GAS CLUSTER ION BEAM
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2008/121628    国際出願番号:    PCT/US2008/058171
国際公開日: 09.10.2008 国際出願日: 26.03.2008
IPC:
H01L 21/66 (2006.01)
出願人: TEL EPION INC. [US/US]; 37 Manning Road, Billerica, MA 01821 (US) (米国を除く全ての指定国).
CALIENDO, Steven [US/US]; (US) (米国のみ).
HOFMEESTER, Nicolaus [NL/US]; (US) (米国のみ)
発明者: CALIENDO, Steven; (US).
HOFMEESTER, Nicolaus; (US)
代理人: ALLEN, William, R., Ph.D.; Wood, Herron & Evans, L.L.P., 441 Vine Street, 2700 Carew Tower, Cincinnati, OH 45202 (US)
優先権情報:
11/694,557 30.03.2007 US
発明の名称: (EN) APPARATUS AND METHODS FOR SYSTEMATIC NON-UNIFORMITY CORRECTION USING A GAS CLUSTER ION BEAM
(FR) APPAREIL ET PROCÉDÉS POUR LA CORRECTION D'IRRÉGULARITÉS SYSTÉMATIQUES AU MOYEN D'UN FAISCEAU D'IONS D'AMAS GAZEUX
要約: front page image
(EN)Embodiments of an apparatus and methods for correcting systematic non- uniformities using a gas cluster ion beam (202) are generally described herein. Other embodiments may be described and claimed.
(FR)L'invention concerne, de manière générale, des modes de mise en oeuvre d'un appareil et de procédés permettant de corriger des irrégularités systématiques au moyen d'un faisceau d'ions d'amas gazeux (202). L'invention concerne d'autres modes de mise en oeuvre pouvant être décrits et revendiqués.
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: English (EN)
国際出願言語: English (EN)