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1. WO2021065450 - 感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、感活性光線性又は感放射線性膜、パターン形成方法、及び電子デバイスの製造方法

国際出願ステータス
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16.06.2021国際出願ステータス レポートHTML, PDF, XMLPDF, XML
公開された国際出願
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08.04.2021最初の国際公開 (ISR 含む)( (A1 14/2021))PDF (189p.)PDF (189p.), Zip ファイル (XML + TIFF ファイル), FullText
調査及び審査関連書類
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08.04.2021国際調査報告の翻訳文PDF (3p.)PDF (3p.), Zip ファイル (XML + TIFF ファイル)
08.04.2021(ISA/210) 国際調査報告PDF (4p.)PDF (4p.), Zip ファイル (XML + TIFF ファイル), FullText
08.04.2021(ISA/237) 国際調査機関の見解書PDF (3p.)PDF (3p.), Zip ファイル (XML + TIFF ファイル), FullText
国際事務局において保管されている関連書類