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1. (WO2006039211) CORROSION RESISTANT APPARATUS FOR CONTROL OF A MULTI-ZONE NOZZLE IN A PLASMA PROCESSING SYSTEM
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2006/039211    国際出願番号:    PCT/US2005/034239
国際公開日: 13.04.2006 国際出願日: 23.09.2005
IPC:
C23C 16/455 (2006.01), H01L 21/3065 (2006.01)
出願人: LAM RESEARCH CORPORATION [US/US]; 4650 Cushing Parkway, P1333PCT, Fremont, CA 94538 (US) (米国を除く全ての指定国).
HAO, Fangli [CN/US]; (US) (米国のみ).
DAUGHERTY, John, E. [US/US]; (US) (米国のみ).
TAPPAN, James [US/US]; (US) (米国のみ)
発明者: HAO, Fangli; (US).
DAUGHERTY, John, E.; (US).
TAPPAN, James; (US)
代理人: NGUYEN, Joseph, A.; PO Box 700640, San Jose, CA 95170 (US)
優先権情報:
10/957,443 30.09.2004 US
発明の名称: (EN) CORROSION RESISTANT APPARATUS FOR CONTROL OF A MULTI-ZONE NOZZLE IN A PLASMA PROCESSING SYSTEM
(FR) APPAREIL RESISTANT A LA CORROSION CONCU POUR COMMANDER UNE BUSE MULTIZONE DANS UN SYSTEME DE TRAITEMENT AU PLASMA
要約: front page image
(EN)An integrated gas flow control assembly for connecting a gas distribution system to a multi-zone injector which includes: a first set of channels connecting the gas distribution system to a first valve assembly, a second valve assembly, a third flow assembly, and a fourth flow assembly; a second set of channels for connecting the third flow assembly and the first valve assembly to a first multi-zone injector zone; and a third set of channels for connecting the fourth flow assembly and the second valve assembly to a second multi-zone injector zone. If the first valve assembly is closed, a first multi-zone injector zone flow rate is about the flow rate through the third flow assembly, and if the second valve assembly is closed, a second multi-zone injector zone flow rate is about the flow rate through the fourth flow assembly.
(FR)La présente invention concerne un ensemble de commande d'écoulement gazeux intégré dans un système de traitement au plasma, qui est conçu pour relier un système de distribution de gaz à un injecteur multizone. Cet ensemble comprend un premier groupe de canaux reliant le système de distribution de gaz à un premier ensemble à clapet avec une première vitesse d'écoulement, un deuxième ensemble à clapet avec une deuxième vitesse d'écoulement, un troisième ensemble à clapet avec une troisième vitesse d'écoulement, ainsi qu'un quatrième ensemble à clapet avec une quatrième vitesse d'écoulement. Lorsque le premier ensemble à clapet est sensiblement ouvert, la troisième vitesse d'écoulement est inférieure à la première vitesse d'écoulement et lorsque le deuxième ensemble à clapet est sensiblement ouvert, la quatrième vitesse d'écoulement est inférieure à la deuxième vitesse d'écoulement. L'ensemble peut également comprendre un deuxième groupe de canaux pour relier le troisième ensemble d'écoulement et le premier ensemble à clapet à une première zone d'injecteur multizone. L'ensemble comprend aussi un troisième groupe de canaux pour relier le quatrième ensemble d'écoulement et le deuxième ensemble à clapet à une seconde zone d'injecteur multizone. Si le premier ensemble à clapet est fermé, la vitesse d'écoulement dans la première zone d'injecteur multizone est approximativement égale à la troisième vitesse d'écoulement et si le deuxième ensemble à clapet est fermé, la vitesse d'écoulement dans la seconde zone d'injecteur multizone est approximativement égale à la quatrième vitesse d'écoulement.
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: English (EN)
国際出願言語: English (EN)