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1. WO2018203524 - 基板収納容器

国内段階移行に関する情報(詳細)
官庁移行日国内番号国内ステータス
中華人民共和国 20.03.2019201880003612.2Published: 21.05.2019
Granted: 22.12.2020
日本 03.07.20192019515722
アメリカ合衆国 24.07.201916480519
大韓民国1020187031646Published: 02.08.2019