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1. (WO2009131036) 成膜方法及び成膜装置

Pub. No.:    WO/2009/131036    International Application No.:    PCT/JP2009/057494
Publication Date: Fri Oct 30 00:59:59 CET 2009 International Filing Date: Wed Apr 15 01:59:59 CEST 2009
IPC: C23C 14/06
C23C 14/12
C23C 14/58
G02B 5/08
Applicants: ULVAC, INC.
株式会社アルバック
KOBAYASHI, Yousuke
小林 洋介
HAYASHI, Nobuhiro
林 信博
IIJIMA, Masayuki
飯島 正行
TADA, Isao
多田 勲
Inventors: KOBAYASHI, Yousuke
小林 洋介
HAYASHI, Nobuhiro
林 信博
IIJIMA, Masayuki
飯島 正行
TADA, Isao
多田 勲
Title: 成膜方法及び成膜装置
Abstract:
 本発明は、装置構成の簡素化及びコストダウンが可能な反射膜形成技術を提供するものである。本発明の成膜方法は、成膜領域に空気を導入しつつ成膜対象物上に蒸着によって光反射性の反射膜を形成する反射膜形成工程(P2)と、この反射膜上に撥水性重合体膜を形成する重合体膜形成工程(P3)と、成膜領域に空気を導入しつつ前記撥水性重合体膜上にプラズマによる親水化処理を施す親水化処理工程(P5)とを有する。本発明によれば、アルゴンガスを用いることなく反射膜の形成及び重合体膜の親水化処理を行うことができる。